脉冲和直流电源系统

关于脉冲和直流电源系统的介绍、购买、商讨
爱发科(ULVAC)的脉冲及直流电源系统提供了多样化的产品线,以支持各种溅射工艺:
直流电源(DC电源):DC系列 / Digital DC系列
直流脉冲电源:DC PULSE系列
低频电源(LF电源):SG
外置单元:A2K系列 / MFU
这些产品具备改善溅射工艺问题的功能,广泛应用于从研发到生产线的各种领域和用途。
脉冲和直流电源系统主要作为PVD(溅射)工艺中的电源。通过溅射技术,可以形成各种薄膜,包括金属膜、合金膜、氧化物膜、氮化物膜以及透明导电膜。这些薄膜通过调整溅射条件(如靶材、气体组成、压力和功率)来制备。由于其多样性,溅射技术在众多领域中得到了广泛应用。脉冲和直流电源系统主要作为PVD(溅射)工艺中的电源。通过溅射技术,可以形成各种薄膜,包括金属膜、合金膜、氧化物膜、氮化物膜以及透明导电膜。这些薄膜通过调整溅射条件(如靶材、气体组成、压力和功率)来制备。由于其多样性,溅射技术在众多领域中得到了广泛应用。
通常,**直流电源(DC电源)用于金属薄膜的溅射,而通过直流脉冲电源(DC脉冲电源)和低频电源(LF电源)**可实现氧化物或氮化物薄膜的反应性溅射。此外,可以根据工艺中关注的重点,选择最适合的电源系统。
爱发科(ULVAC)的脉冲和直流电源系统凭借在多种应用中积累的丰富经验,能够支持高品质的薄膜制备工艺。欢迎充分利用这些系统。
直流电源 _DC系列
DC系列是专为金属膜溅射工艺优化的直流电源(DC电源)。该系列采用高可靠性的部件和电路,并在设计中融入了多年积累的应用经验和技术专长,从而优化了针对等离子负载的电源性能。
该系列的主要特点是配备了异常放电处理(弧处理)功能,可应对等离子负载特有的阻抗波动。这一功能实现了稳定的薄膜沉积过程,并提供了高可靠性和优异性能。

直流电源 _DC系列
DC系列
DC 系列是用于溅射的直流电源 (DC Power Supply)。 它由可靠的元件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源,通过在设计中体现我们多年积累的专业知识,包括电源的应用,非常适合等离子负载。
直流电源 _Digital DC系列
Digital DC系列的最大特点在于通过控制部分的数字化,大幅提升了基本性能,并且可以通过软件灵活实现丰富的选配功能和新功能的追加。
这一进化使得该系列能够满足广泛的客户需求,从只需基本功能的客户到需要高级功能来解决特定问题的客户,都能找到合适的解决方案。
我们衷心希望,这些多样化的选配功能能够对客户的工艺改进作出重要贡献。Digital DC系列为您提供了具有创新技术和灵活性的全新选择。

直流电源 _Digital DC系列
Digital DC 系列
Digital DC 系列是用于溅射的直流电源。它由可靠的元件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源,通过在设计中体现我们多年积累的专业知识,包括电源的应用,非常适合等离子负载。
直流脉冲电源_DC PULSE系列
DC PULSE系列是针对金属薄膜沉积和反应溅射工艺的理想DC脉冲电源。该系列通过在设定的周期内反转输出电压,有效消除靶材表面的电荷积累(充电效应),从而抑制异常放电现象。这一功能有助于提高良品率和生产效率。
除了连续脉冲输出模式外,该系列还配备了可作为直流电源(DC电源)使用的模式,用户可以根据工艺需求选择最合适的使用方式。DC PULSE系列兼具高灵活性和高性能,能够最大限度地提升薄膜沉积工艺的效率。

直流脉冲电源_DC PULSE系列
DC PULSE 系列
DC PULSE 系列是一种脉冲电源,可有效抑制无功过程中发生的异常放电。
该电源在设定的周期内反转输出电压,并抵消目标表面的电荷积累(充电),从而抑制异常放电并提高良率和吞吐量。
LF电源_SG
LF电源专为采用双阴极结构的金属薄膜和反应溅射工艺优化设计。通过采用正弦波输出,避免了传统方法在调整电压范围时所需的分接头切换,大大提高了操作性。此外,输出频率可调,用户可以根据工艺需求选择最优条件进行使用。
此外,该电源的设计融入了长期的电源应用经验和技术专长,实现了适应等离子负载的高可靠性。SG-10电源兼具稳定性和灵活性,为各种薄膜沉积工艺提供强有力的支持。

LF电源_SG
SG-10
它专为等离子体生成而设计,例如 LF 电源、双阴极溅射、等离子体CVD等,并且可以连续输出20kHz至100kHz频率的额定功率,用于等离子体负载。它是一种高度可靠的电源,通过在设计中体现我们多年积累的专业知识,包括电源的应用,非常适合等离子负载。
脉冲单元 _A2K系列
A2K系列是一种将直流输出转换为脉冲输出的外置单元。该系列通过与直流电源连接,能够中和靶材上的电荷,防止异常放电。与直流电源组合使用时,可作为大功率直流脉冲电源系统使用。
此外,A2K系列作为一款高性能的脉冲单元,可以有效抑制异常放电并实现高效的异常放电处理(电弧处理),确保在各种工艺过程中稳定运行。A2K系列为高效且可靠的薄膜沉积工艺提供了强有力的支持。

双极单元 _MFU
MFU是一种将直流输出转换为双极脉冲输出的外置单元。通过与直流电源组合使用,可作为大功率双极脉冲电源系统应用,并支持使用双阴极的溅射工艺,从而大大拓展了工艺的适用范围。
MFU不仅适用于金属薄膜沉积,在反应性沉积工艺中也能发挥出色的性能。此外,它能够防止阳极消失,确保溅射过程的稳定性,从而实现高质量薄膜的形成。

双极单元 _MFU
MFU-20K
MFU 可用作直流电源的外部单元,是一种用于双阴极溅射的 MF 电源。 它不仅对金属膜有效,而且对反应沉积也有效。 实现了稳定的溅射,而不会损失阳极。