脉冲和直流电源系统

DC系列是专为金属膜溅射工艺优化的直流电源（DC电源）。该系列采用高可靠性的部件和电路，并在设计中融入了多年积累的应用经验和技术专长，从而优化了针对等离子负载的电源性能。
该系列的主要特点是配备了异常放电处理（弧处理）功能，可应对等离子负载特有的阻抗波动。这一功能实现了稳定的薄膜沉积过程，并提供了高可靠性和优异性能。

Digital DC系列的最大特点在于通过控制部分的数字化，大幅提升了基本性能，并且可以通过软件灵活实现丰富的选配功能和新功能的追加。
这一进化使得该系列能够满足广泛的客户需求，从只需基本功能的客户到需要高级功能来解决特定问题的客户，都能找到合适的解决方案。
我们衷心希望，这些多样化的选配功能能够对客户的工艺改进作出重要贡献。Digital DC系列为您提供了具有创新技术和灵活性的全新选择。

DC PULSE系列是针对金属薄膜沉积和反应溅射工艺的理想DC脉冲电源。该系列通过在设定的周期内反转输出电压，有效消除靶材表面的电荷积累（充电效应），从而抑制异常放电现象。这一功能有助于提高良品率和生产效率。

除了连续脉冲输出模式外，该系列还配备了可作为直流电源（DC电源）使用的模式，用户可以根据工艺需求选择最合适的使用方式。DC PULSE系列兼具高灵活性和高性能，能够最大限度地提升薄膜沉积工艺的效率。

LF电源专为采用双阴极结构的金属薄膜和反应溅射工艺优化设计。通过采用正弦波输出，避免了传统方法在调整电压范围时所需的分接头切换，大大提高了操作性。此外，输出频率可调，用户可以根据工艺需求选择最优条件进行使用。

此外，该电源的设计融入了长期的电源应用经验和技术专长，实现了适应等离子负载的高可靠性。SG-10电源兼具稳定性和灵活性，为各种薄膜沉积工艺提供强有力的支持。

A2K系列是一种将直流输出转换为脉冲输出的外置单元。该系列通过与直流电源连接，能够中和靶材上的电荷，防止异常放电。与直流电源组合使用时，可作为大功率直流脉冲电源系统使用。

此外，A2K系列作为一款高性能的脉冲单元，可以有效抑制异常放电并实现高效的异常放电处理（电弧处理），确保在各种工艺过程中稳定运行。A2K系列为高效且可靠的薄膜沉积工艺提供了强有力的支持。

MFU是一种将直流输出转换为双极脉冲输出的外置单元。通过与直流电源组合使用，可作为大功率双极脉冲电源系统应用，并支持使用双阴极的溅射工艺，从而大大拓展了工艺的适用范围。

MFU不仅适用于金属薄膜沉积，在反应性沉积工艺中也能发挥出色的性能。此外，它能够防止阳极消失，确保溅射过程的稳定性，从而实现高质量薄膜的形成。