DC PULSE 系列|直流脉冲电源_DC PULSE系列|脉冲和直流电源系统|用于等离子体生成的电源|产品中心|ULVAC SHOWCASE

实现稳定反应溅射的直流脉冲电源

脉冲和直流电源系统
直流脉冲电源_DC PULSE系列
DC PULSE 系列

ULVAC

关于DC PULSE 系列的介绍、购买、商讨

DC PULSE 系列是一种脉冲电源,可有效抑制无功过程中发生的异常放电。
该电源在设定的周期内反转输出电压,并抵消目标表面的电荷积累(充电),从而抑制异常放电并提高良率和吞吐量。

特点

  • 通过抑制异常放电,可以输入大功率。
  • 减少电弧引起的基板损伤
  • 输出的振荡频率可设置为 5kHz 至 250kHz。
  • 最多可并联运行 6 台(仅限同一型号的组合)
  • 通过改变运行模式,也可以用作具有低电弧功能的直流电源。

规格

DC-5-P DC-10-P
输入规格 输入电压 三相 AC208V
输入电容 8kVA 或更低 13.5kVA 或更低
输出规格 最大额定功率 5kW 10kW
额定电流 12.5A 25A
额定电压 5k-150kHz:800V、155k-250kHz:650V
振荡频率 5k-250kHz
反向电压脉冲宽度 0.4μ-5.0μs
点火电压 1500V
控制 控制精度 ±额定输出的 0.5% 或设定值的 ±1% 或更低,以较大者为准。
控制保修范围 额定功率值的 10-100%
外部控制 Analog/Digital、通信(RS232C 或 RS485)
并联运行
冷却方式 强制风冷
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 483×630×133(mm)
质量 29kg 36kg
适合规格 CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲)

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept