实现稳定反应溅射的直流脉冲电源
脉冲和直流电源系统
直流脉冲电源_DC PULSE系列
DC PULSE 系列
ULVAC
关于DC PULSE 系列的介绍、购买、商讨
DC PULSE 系列是一种脉冲电源，可有效抑制无功过程中发生的异常放电。
该电源在设定的周期内反转输出电压，并抵消目标表面的电荷积累（充电），从而抑制异常放电并提高良率和吞吐量。
该电源在设定的周期内反转输出电压，并抵消目标表面的电荷积累（充电），从而抑制异常放电并提高良率和吞吐量。
特点
- 通过抑制异常放电，可以输入大功率。
- 减少电弧引起的基板损伤
- 输出的振荡频率可设置为 5kHz 至 250kHz。
- 最多可并联运行 6 台（仅限同一型号的组合）
- 通过改变运行模式，也可以用作具有低电弧功能的直流电源。
规格
| 型 | DC-5-P | DC-10-P | |
| 输入规格 | 输入电压 | 三相 AC208V | |
| 输入电容 | 8kVA 或更低 | 13.5kVA 或更低 | |
| 输出规格 | 最大额定功率 | 5kW | 10kW |
| 额定电流 | 12.5A | 25A | |
| 额定电压 | 5k-150kHz：800V、155k-250kHz：650V | ||
| 振荡频率 | 5k-250kHz | ||
| 反向电压脉冲宽度 | 0.4μ-5.0μs | ||
| 点火电压 | 1500V | ||
| 控制 | 控制精度 | ±额定输出的 0.5% 或设定值的 ±1% 或更低，以较大者为准。 | |
| 控制保修范围 | 额定功率值的 10-100% | ||
| 外部控制 | Analog/Digital、通信（RS232C 或 RS485） | ||
| 并联运行 | 有 | ||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 483×630×133（mm） | ||
| 质量 | 29kg | 36kg | |
| 适合规格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲） | ||
