为实现更优质的薄膜沉积过程而提供的可后装双极单元
脉冲和直流电源系统
双极单元 _MFU
MFU-20K
ULVAC

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关于MFU-20K的介绍、购买、商讨
MFU 可用作直流电源的外部单元,是一种用于双阴极溅射的 MF 电源。 它不仅对金属膜有效,而且对反应沉积也有效。 实现了稳定的溅射,而不会损失阳极。
特点
- 可在 10kHz~100kHz 范围内使用 *1
- 主/从连接最多可并联 6 台
- 与我们的直流电源组合使用,可以轻松实现与双阴极兼容的放电方式。
*1:振荡频率超过60kHz 时,输出功率、电压和电流会受到限制。
规格
型式 | MFU-20K | |
控制电源输入 | 输入电压 | 単相 AC100-240V |
输入电容 | 400VA 或更低 | |
输入规格 | 工作电压 | 0~-1000V |
工作电流 | 50A | |
额定输入功率 | 20kW | |
输出规格 | 振荡频率 | 10k-100kHz(输出限制高于61kHz) |
额定输出电压 | 1000V(RMS) | |
额定输出电流 | 50A(RMS) | |
输出格式 | Dual Target | |
冷却方式 | 强制风冷 | |
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 | 480×630×177(mm) | |
质量 | 29kg | |
适合规格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲) |