MFU-20K|双极单元 _MFU|脉冲和直流电源系统|用于等离子体生成的电源|产品中心|ULVAC SHOWCASE

为实现更优质的薄膜沉积过程而提供的可后装双极单元

脉冲和直流电源系统
双极单元 _MFU
MFU-20K

ULVAC

关于MFU-20K的介绍、购买、商讨

MFU 可用作直流电源的外部单元,是一种用于双阴极溅射的 MF 电源。 它不仅对金属膜有效,而且对反应沉积也有效。 实现了稳定的溅射,而不会损失阳极。

特点

  • 可在 10kHz~100kHz 范围内使用 *1
  • 主/从连接最多可并联 6 台
  • 与我们的直流电源组合使用,可以轻松实现与双阴极兼容的放电方式。
    *1:振荡频率超过60kHz 时,输出功率、电压和电流会受到限制。

规格

型式 MFU-20K
控制电源输入 输入电压 単相 AC100-240V
输入电容 400VA 或更低
输入规格 工作电压 0~-1000V
工作电流 50A
额定输入功率 20kW
输出规格 振荡频率 10k-100kHz(输出限制高于61kHz)
额定输出电压 1000V(RMS)
额定输出电流 50A(RMS)
输出格式 Dual Target
冷却方式 强制风冷
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 480×630×177(mm)
质量 29kg
适合规格 CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲)

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