为实现更优质的薄膜沉积过程而提供的可后装双极单元
脉冲和直流电源系统
双极单元 _MFU
MFU-20K
ULVAC
打印・
保存产品手册
保存产品手册
关于MFU-20K的介绍、购买、商讨
MFU 可用作直流电源的外部单元，是一种用于双阴极溅射的 MF 电源。 它不仅对金属膜有效，而且对反应沉积也有效。 实现了稳定的溅射，而不会损失阳极。
特点
- 可在 10kHz~100kHz 范围内使用 *1
- 主/从连接最多可并联 6 台
- 与我们的直流电源组合使用，可以轻松实现与双阴极兼容的放电方式。
*1：振荡频率超过60kHz 时，输出功率、电压和电流会受到限制。
规格
| 型式 | MFU-20K | |
| 控制电源输入 | 输入电压 | 単相 AC100-240V |
| 输入电容 | 400VA 或更低 | |
| 输入规格 | 工作电压 | 0～-1000V |
| 工作电流 | 50A | |
| 额定输入功率 | 20kW | |
| 输出规格 | 振荡频率 | 10k-100kHz（输出限制高于61kHz） |
| 额定输出电压 | 1000V（RMS） | |
| 额定输出电流 | 50A（RMS） | |
| 输出格式 | Dual Target | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 480×630×177（mm） | |
| 质量 | 29kg | |
| 适合规格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲） | |
