脉冲和直流电源系统
双极单元 _MFU
脉冲和直流电源系统
双极单元 _MFUの導入・購入・検討について
MFU是一种将直流输出转换为双极脉冲输出的外置单元。通过与直流电源组合使用，可作为大功率双极脉冲电源系统应用，并支持使用双阴极的溅射工艺，从而大大拓展了工艺的适用范围。
MFU不仅适用于金属薄膜沉积，在反应性沉积工艺中也能发挥出色的性能。此外，它能够防止阳极消失，确保溅射过程的稳定性，从而实现高质量薄膜的形成。
双极单元 _MFU
MFU-20K
MFU 可用作直流电源的外部单元，是一种用于双阴极溅射的 MF 电源。 它不仅对金属膜有效，而且对反应沉积也有效。 实现了稳定的溅射，而不会损失阳极。