持续进化的新功能，实现工艺优化的高性能直流电源
脉冲和直流电源系统
直流电源 _Digital DC系列
Digital DC 系列
ULVAC
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关于Digital DC 系列的介绍、购买、商讨
Digital DC 系列是用于溅射的直流电源。它由可靠的元件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源，通过在设计中体现我们多年积累的专业知识，包括电源的应用，非常适合等离子负载。
特点
- 广泛的高级选项
- 轻巧且节省空间的设计
- 輸出電壓範圍為800V規格及HV規格（10/20kw：1000V / 2/4kw：900V）
- 对等离子体有透彻的理解，进行输出控制
- 强制风冷系统无需冷却水
- 配备出色的 ARC 功能和高速 ARC 切断电路
- 最多可并联 12 台机组 （240 kW）（仅限 10/20kW 产品）
- 兼容 RoHS、CE、SEMI-F47
规格
| 型 | DC-2-D | DC-4-D | |
| 输入规格 | 输入电压 | 三相 AC200V/220V | |
| 输入电容 | 3.5kVA 或更低 | 6.2kVA 或更低 | |
| 输出规格 | 额定功率 | 2kW | 4kW |
| 额定电流 | 5A | 10A | |
| 额定电压 | 800V/900V* | ||
| 点火电压 | 1200V | ||
| 控制 | 控制精度 | 设定值的 ±1% | |
| 控制覆盖率 | 额定功率值的 1-100% | ||
| 外部控制 | Analog/Digital、串行通信（RS232C 或 RS485）、EtherCAT（可选） | ||
| 并联运行 | 无 | ||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 241×610×133（mm） | ||
| 质量 | 15kg | ||
| 适合规格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲） | ||
*通常，800V 和 900V 规格是可选的。
| 型 | DC-10-D | DC-10-DH | DC-20-D | DC-20-DH | |
| 输入规格 | 输入电压 | 三相 AC208V | |||
| 输入电容 | 13.5kVA 或更低 | 25kVA 或更低 | |||
| 输出规格 | 额定功率 | 10kW | 20kW | ||
| 额定电流 | 25A | 18A | 50A | 40A | |
| 额定电压 | 800V | 1000V | 800V | 1000V | |
| 点火电压 | 1500V | ||||
| 控制 | 控制精度 | ±额定输出的 0.5% 或设定值的 ±1% 或更低，以较大者为准。 还提供单独的高精度选项。 |
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| 控制覆盖率 | 额定功率值的 10-100% 还提供单独的高精度选项。 |
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| 外部控制 | Analog/Digital、串行通信（RS232C 或 RS485）、EtherCAT（可选） | ||||
| 并联运行 | 有 | ||||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 483×630×133（mm） | ||||
| 质量 | 29kg | 36kg | |||
| 适合规格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲） | ||||
