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持续进化的新功能,实现工艺优化的高性能直流电源

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直流电源 _Digital DC系列
Digital DC 系列

ULVAC

关于Digital DC 系列的介绍、购买、商讨

Digital DC 系列是用于溅射的直流电源。它由可靠的元件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源,通过在设计中体现我们多年积累的专业知识,包括电源的应用,非常适合等离子负载。

特点

  • 广泛的高级选项
  • 轻巧且节省空间的设计
  • 輸出電壓範圍為800V規格及HV規格(10/20kw:1000V / 2/4kw:900V)
  • 对等离子体有透彻的理解,进行输出控制
  • 强制风冷系统无需冷却水
  • 配备出色的 ARC 功能和高速 ARC 切断电路
  • 最多可并联 12 台机组 (240 kW)(仅限 10/20kW 产品)
  • 兼容 RoHS、CE、SEMI-F47

规格

DC-2-D DC-4-D
输入规格 输入电压 三相 AC200V/220V
输入电容 3.5kVA 或更低 6.2kVA 或更低
输出规格 额定功率 2kW 4kW
额定电流 5A 10A
额定电压 800V/900V*
点火电压 1200V
控制 控制精度 设定值的 ±1%
控制覆盖率 额定功率值的 1-100%
外部控制 Analog/Digital、串行通信(RS232C 或 RS485)、EtherCAT(可选)
并联运行
冷却方式 强制风冷
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 241×610×133(mm)
质量 15kg
适合规格 CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲)

*通常,800V 和 900V 规格是可选的。

DC-10-D DC-10-DH DC-20-D DC-20-DH
输入规格 输入电压 三相 AC208V
输入电容 13.5kVA 或更低 25kVA 或更低
输出规格 额定功率 10kW 20kW
额定电流 25A 18A 50A 40A
额定电压 800V 1000V 800V 1000V
点火电压 1500V
控制 控制精度 ±额定输出的 0.5% 或设定值的 ±1% 或更低,以较大者为准。
还提供单独的高精度选项。
控制覆盖率 额定功率值的 10-100%
还提供单独的高精度选项。
外部控制 Analog/Digital、串行通信(RS232C 或 RS485)、EtherCAT(可选)
并联运行
冷却方式 强制风冷
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 483×630×133(mm)
质量 29kg 36kg
适合规格 CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲)

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