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兼具可靠性和稳定性的双阴极支持LF电源

脉冲和直流电源系统
LF电源_SG
SG-10

ULVAC

关于SG-10的介绍、购买、商讨

它专为等离子体生成而设计,例如 LF 电源、双阴极溅射、等离子体CVD等,并且可以连续输出20kHz至100kHz频率的额定功率,用于等离子体负载。它是一种高度可靠的电源,通过在设计中体现我们多年积累的专业知识,包括电源的应用,非常适合等离子负载。

特点

  • 您可以以1kHz为增量从20kHz到100kHz设置振荡频率。 *1
  • 可以在不改变变压器抽头的情况下输出到规格的输出范围。
  • 可进行脉冲输出控制。
  • 外部模拟控制、控制器控制等是标准设备,可通过 OPTION 进行S232C、RS485和EtherCAT等各种控制。

*1:输出电压/电流根据频率设定条件有限制。

规格

SG-10-4
输入规格 输入电压 3相 AC380-440V
输入电容 13.2kVA 或更低
输出规格 最大额定功率 10kW
额定电流 32A
额定电压 1000Vrms
振荡频率 20k-100kHz
控制 控制精度 ± 100W(电压 30V 或更高,电流 1.5A 或更高)
其他条件适用
控制保修范围 额定功率值的 10-100%(电压 30V 以上,电流 1.5A 以上)
外部控制 模拟/数字、串行通信(RS232C 或 RS485)、EtherCAT(可选)
冷却方式 水冷:7 L/min 或更高
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 483×500×177(mm)
质量 40kg
适合规格 CE、SEMI F47、RoHS(欧洲)

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