兼具可靠性和稳定性的双阴极支持LF电源
脉冲和直流电源系统
LF电源_SG
SG-10
ULVAC
关于SG-10的介绍、购买、商讨
它专为等离子体生成而设计，例如 LF 电源、双阴极溅射、等离子体CVD等，并且可以连续输出20kHz至100kHz频率的额定功率，用于等离子体负载。它是一种高度可靠的电源，通过在设计中体现我们多年积累的专业知识，包括电源的应用，非常适合等离子负载。
特点
- 您可以以1kHz为增量从20kHz到100kHz设置振荡频率。 *1
- 可以在不改变变压器抽头的情况下输出到规格的输出范围。
- 可进行脉冲输出控制。
- 外部模拟控制、控制器控制等是标准设备，可通过 OPTION 进行S232C、RS485和EtherCAT等各种控制。
*1：输出电压/电流根据频率设定条件有限制。
规格
| 型 | SG-10-4 | |
| 输入规格 | 输入电压 | 3相 AC380-440V |
| 输入电容 | 13.2kVA 或更低 | |
| 输出规格 | 最大额定功率 | 10kW |
| 额定电流 | 32A | |
| 额定电压 | 1000Vrms | |
| 振荡频率 | 20k-100kHz | |
| 控制 | 控制精度 | ± 100W（电压 30V 或更高，电流 1.5A 或更高） 其他条件适用 |
| 控制保修范围 | 额定功率值的 10-100%（电压 30V 以上，电流 1.5A 以上） | |
| 外部控制 | 模拟/数字、串行通信（RS232C 或 RS485）、EtherCAT（可选） | |
| 冷却方式 | 水冷：7 L/min 或更高 | |
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 483×500×177（mm） | |
| 质量 | 40kg | |
| 适合规格 | CE、SEMI F47、RoHS（欧洲） | |
