兼具可靠性和稳定性的双阴极支持LF电源
脉冲和直流电源系统
LF电源_SG
SG-10
ULVAC

关于SG-10的介绍、购买、商讨
它专为等离子体生成而设计,例如 LF 电源、双阴极溅射、等离子体CVD等,并且可以连续输出20kHz至100kHz频率的额定功率,用于等离子体负载。它是一种高度可靠的电源,通过在设计中体现我们多年积累的专业知识,包括电源的应用,非常适合等离子负载。
特点
- 您可以以1kHz为增量从20kHz到100kHz设置振荡频率。 *1
- 可以在不改变变压器抽头的情况下输出到规格的输出范围。
- 可进行脉冲输出控制。
- 外部模拟控制、控制器控制等是标准设备,可通过 OPTION 进行S232C、RS485和EtherCAT等各种控制。
*1:输出电压/电流根据频率设定条件有限制。
规格
型 | SG-10-4 | |
输入规格 | 输入电压 | 3相 AC380-440V |
输入电容 | 13.2kVA 或更低 | |
输出规格 | 最大额定功率 | 10kW |
额定电流 | 32A | |
额定电压 | 1000Vrms | |
振荡频率 | 20k-100kHz | |
控制 | 控制精度 | ± 100W(电压 30V 或更高,电流 1.5A 或更高) 其他条件适用 |
控制保修范围 | 额定功率值的 10-100%(电压 30V 以上,电流 1.5A 以上) | |
外部控制 | 模拟/数字、串行通信(RS232C 或 RS485)、EtherCAT(可选) | |
冷却方式 | 水冷:7 L/min 或更高 | |
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 | 483×500×177(mm) | |
质量 | 40kg | |
适合规格 | CE、SEMI F47、RoHS(欧洲) |