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为实现更优质的薄膜沉积过程而提供的可后装脉冲单元

脉冲和直流电源系统
脉冲单元 _A2K系列
A2K系列

ULVAC

关于A2K系列的介绍、购买、商讨

A2K 系列作为直流电源的外部单元提供,是一种防止异常放电的单元,可将直流输出转换为脉冲输出并中和目标上的电荷。

特点

  • 通过减少异常放电,可以输入高功率。
  • 可以减少电弧引起的基板损伤。
  • 可连接现有设备 *1
  • A2KH-25U:1kHz ~ 20kHz,A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHz
  • 可同步多个A2K单元的输出脉冲 *2 *3
  • A2K-20K 和 40K 最多可并联运行 6 台。

应用:脉冲同步系统

PULSEsystem.jpg

当阴极在同一腔室中彼此靠近且阴极彼此相对时,或者当多个 A2K 的放电发生干扰时,可以通过将 A2K 的反向脉冲设置为同一相位来使用相位控制功能来防止放电的干扰 *3 *4


*1:可连接到我们的直流电源
*2:无法通过混合 A2KH-25U、A2K-20K 和 40K 进行脉冲同步和并联操作
*3:A2KH-25U 需要外部同步单元 (PHSM/PHSS)
*4:A2K-20K/40K 需要光同步电缆(Pulse link 电缆)

规格

型式 A2KH-25U A2K-20K A2K-40K
控制电源输入 输入电压 单相的 AC90-110V 单相的 AC100-240V
输入电容 100VA 或更低 400VA 或更低
输入规格 工作电压 -100~-800V
工作电流 25A 50A 100A
额定输入功率 10kW 20kW 40kW
输出规格 振荡频率 1k-20kHz 1k-50kHz
反向电压脉冲宽度 5μs/10μs 通过内部开关切换 3μ-18μs(振荡频率是有限的)
操作模式 连续/1 脉冲/路径
输出格式 Single Target
冷却方式 强制风冷
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 238×450×149(mm) 480×630×177(mm)
质量 16kg 30kg 45kg
适合规格 RoHS(欧洲) CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲)

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