为实现更优质的薄膜沉积过程而提供的可后装脉冲单元
脉冲和直流电源系统
脉冲单元 _A2K系列
A2K系列
ULVAC
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关于A2K系列的介绍、购买、商讨
A2K 系列作为直流电源的外部单元提供，是一种防止异常放电的单元，可将直流输出转换为脉冲输出并中和目标上的电荷。
特点
- 通过减少异常放电，可以输入高功率。
- 可以减少电弧引起的基板损伤。
- 可连接现有设备 *1
- A2KH-25U：1kHz ~ 20kHz，A2K-20K/40K：1kHz ~ 50kHz
- 可同步多个A2K单元的输出脉冲 *2 *3
- A2K-20K 和 40K 最多可并联运行 6 台。
应用：脉冲同步系统
当阴极在同一腔室中彼此靠近且阴极彼此相对时，或者当多个 A2K 的放电发生干扰时，可以通过将 A2K 的反向脉冲设置为同一相位来使用相位控制功能来防止放电的干扰 *3 *4
*1：可连接到我们的直流电源
*2：无法通过混合 A2KH-25U、A2K-20K 和 40K 进行脉冲同步和并联操作
*3：A2KH-25U 需要外部同步单元 （PHSM/PHSS）
*4：A2K-20K/40K 需要光同步电缆（Pulse link 电缆）
规格
| 型式 | A2KH-25U | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制电源输入 | 输入电压 | 单相的 AC90-110V | 单相的 AC100-240V | |
| 输入电容 | 100VA 或更低 | 400VA 或更低 | ||
| 输入规格 | 工作电压 | -100～-800V | ||
| 工作电流 | 25A | 50A | 100A | |
| 额定输入功率 | 10kW | 20kW | 40kW | |
| 输出规格 | 振荡频率 | 1k-20kHz | 1k-50kHz | |
| 反向电压脉冲宽度 | 5μs/10μs 通过内部开关切换 | 3μ-18μs（振荡频率是有限的） | ||
| 操作模式 | 连续/1 脉冲/路径 | |||
| 输出格式 | Single Target | |||
| 冷却方式 | 强制风冷 | |||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 238×450×149（mm） | 480×630×177（mm） | ||
| 质量 | 16kg | 30kg | 45kg | |
| 适合规格 | RoHS（欧洲） | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲） | ||
