为实现更优质的薄膜沉积过程而提供的可后装脉冲单元
脉冲和直流电源系统
脉冲单元 _A2K系列
A2K系列
ULVAC

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关于A2K系列的介绍、购买、商讨
A2K 系列作为直流电源的外部单元提供,是一种防止异常放电的单元,可将直流输出转换为脉冲输出并中和目标上的电荷。
特点
- 通过减少异常放电,可以输入高功率。
- 可以减少电弧引起的基板损伤。
- 可连接现有设备 *1
- A2KH-25U:1kHz ~ 20kHz,A2K-20K/40K:1kHz ~ 50kHz
- 可同步多个A2K单元的输出脉冲 *2 *3
- A2K-20K 和 40K 最多可并联运行 6 台。
应用:脉冲同步系统
当阴极在同一腔室中彼此靠近且阴极彼此相对时,或者当多个 A2K 的放电发生干扰时,可以通过将 A2K 的反向脉冲设置为同一相位来使用相位控制功能来防止放电的干扰 *3 *4
*1:可连接到我们的直流电源
*2:无法通过混合 A2KH-25U、A2K-20K 和 40K 进行脉冲同步和并联操作
*3:A2KH-25U 需要外部同步单元 (PHSM/PHSS)
*4:A2K-20K/40K 需要光同步电缆(Pulse link 电缆)
规格
型式 | A2KH-25U | A2K-20K | A2K-40K | |
控制电源输入 | 输入电压 | 单相的 AC90-110V | 单相的 AC100-240V | |
输入电容 | 100VA 或更低 | 400VA 或更低 | ||
输入规格 | 工作电压 | -100~-800V | ||
工作电流 | 25A | 50A | 100A | |
额定输入功率 | 10kW | 20kW | 40kW | |
输出规格 | 振荡频率 | 1k-20kHz | 1k-50kHz | |
反向电压脉冲宽度 | 5μs/10μs 通过内部开关切换 | 3μ-18μs(振荡频率是有限的) | ||
操作模式 | 连续/1 脉冲/路径 | |||
输出格式 | Single Target | |||
冷却方式 | 强制风冷 | |||
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 | 238×450×149(mm) | 480×630×177(mm) | ||
质量 | 16kg | 30kg | 45kg | |
适合规格 | RoHS(欧洲) | CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲) |