脉冲和直流电源系统
脉冲单元 _A2K系列
脉冲和直流电源系统
脉冲单元 _A2K系列の導入・購入・検討について
A2K系列是一种将直流输出转换为脉冲输出的外置单元。该系列通过与直流电源连接，能够中和靶材上的电荷，防止异常放电。与直流电源组合使用时，可作为大功率直流脉冲电源系统使用。
此外，A2K系列作为一款高性能的脉冲单元，可以有效抑制异常放电并实现高效的异常放电处理（电弧处理），确保在各种工艺过程中稳定运行。A2K系列为高效且可靠的薄膜沉积工艺提供了强有力的支持。