高频电源系统
内置匹配器_高频电源_RMG
高频电源系统
内置匹配器_高频电源_RMGの導入・購入・検討について
RMG是一种将高频电源与匹配器集成在一个单元内的创新型高频电源系统。通过将通常独立的组件合并为一体，该系统实现了轻量化和小型化，非常适合用于实验和试验性应用。
此外，它能够在低功率输出时实现精确控制，适用于从研发到量产设备的广泛领域。RMG提供了灵活且便捷的高频电源解决方案。
内置匹配器_高频电源_RMG
RMG-1303
RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射频电源，内置输出匹配器，适用于射频溅射和等离子 CVD 蚀刻等等离子体工艺。 匹配器和射频电源的集成使其更小、更轻。 它可以从低输出进行控制，并且可以用于广泛的领域，从研发应用到批量生产设备。