高频电源系统

关于高频电源系统的介绍、购买、商讨

爱发科（ULVAC）提供以下高频电源产品：

内置匹配器的高频电源：RMG
高通用性高频电源系统（RF电源系统）：N系列
丰富的高频电源选项：MEX-N系列 / EXN系列 / PHS-N系列 / EXO

此外，我们始终将可靠性作为搭载电源的真空设备中最关键的要素。从开发和设计阶段到评估和制造，我们始终专注于确保高可靠性。

高频电源系统（RF电源系统）是一种革命性的设备，能够支持包括薄膜沉积、刻蚀和表面改性在内的多种工艺。尤其值得注意的是，它是唯一能够实现绝缘材料靶材溅射的电源，其独特性非常突出。然而，为了充分发挥高频电源的特性，在设备设计阶段，需要深入理解高频特性并进行针对性的硬件设计。高频电源系统（RF电源系统）是一种革命性的设备，能够支持包括薄膜沉积、刻蚀和表面改性在内的多种工艺。尤其值得注意的是，它是唯一能够实现绝缘材料靶材溅射的电源，其独特性非常突出。然而，为了充分发挥高频电源的特性，在设备设计阶段，需要深入理解高频特性并进行针对性的硬件设计。
在高频电源中，可能会发生一种称为**“反射”**的现象，即部分或全部输出功率未被负载消耗而返回电源端。为了有效地向负载供电，必须使用高频电源特有的组件——匹配器（匹配盒，阻抗匹配单元），该单元能够优化电力供应效率。
爱发科（ULVAC）的高频电源系统凭借在多种应用中积累的丰富经验和专业知识，实现了高质量的薄膜沉积工艺。我们诚邀您充分利用这一卓越的电源系统。

内置匹配器_高频电源_RMG

RMG是一种将高频电源与匹配器集成在一个单元内的创新型高频电源系统。通过将通常独立的组件合并为一体，该系统实现了轻量化和小型化，非常适合用于实验和试验性应用。

此外，它能够在低功率输出时实现精确控制，适用于从研发到量产设备的广泛领域。RMG提供了灵活且便捷的高频电源解决方案。

内置匹配器_高频电源_RMG

RMG-1303

RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射频电源，内置输出匹配器，适用于射频溅射和等离子 CVD 蚀刻等等离子体工艺。匹配器和射频电源的集成使其更小、更轻。它可以从低输出进行控制，并且可以用于广泛的领域，从研发应用到批量生产设备。

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高频电源_N系列

N系列高频电源通过调整整合器内部的设置，实现了广泛的匹配范围，具备适应各种负载的高通用性。此外，配备了高效RF放大器，成功实现了小型化和轻量化设计。

同时，RF电源本体内置了自动匹配控制器功能，无需额外的外部设备即可实现对RF电源输出功率和匹配系统的整体控制。N系列是集性能与便利性于一体的下一代高频电源系统。