解决放电干扰问题的同步单元
高频电源系统
高频电源_选配
EXO-13
ULVAC
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关于EXO-13的介绍、购买、商讨
该装置设计为高频电源的外部振荡器源。它能够输出13.56MHz的单个频率的额定信号。
此外,本机配备 1~4 个 BNC 输出端口,最多可为 4 个电源进行同相高频振荡。
*所连接电源的外部输入端子必须端接至50Ω,并且必须能够在10mW至100mW的距离内工作。
特点
- 多达四个 RF 电源可以同步相位。
- 通过消除相位簇功能，实现了低成本。
规格
| 型 | EXO-13 | |
| 输入规格 | 输入电压 | 单相AC100V |
| 输入电容 | 1VA 或更低 | |
| 输出规格 | 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% |
| 尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 145×110×44 （mm） | |
