高频电源系统
高频电源_选配
高频电源系统
高频电源_选配の導入・購入・検討について
通过利用爱发科（Ulvac）的高频电源选项，可以实现多种设备配置。我们提供了丰富的选配组件，能够应对多路同时放电时的干扰问题以及电源输出切换等需求。
・匹配箱切换装置：MEX-N系列・匹配箱切换装置：MEX-N系列该装置用于在单台高频电源与多个匹配器之间进行切换。即使负载阻抗差异较大，也可以使用。但是，无法同时向多个匹配器供电。
・靶材切换装置：EXN系列该装置用于在高频电源与匹配器组合的系统中，将匹配器的输出切换至多个电极。适用于负载阻抗几乎相同的电极之间的切换。
・相位移相器：PHS-N系列当同一真空腔室内存在多个电极并同时放电高频输出时，可能会因干扰问题导致输出不稳定。此装置通过相位同步或调整相位来改善这些问题。
・同步单元：EXO-13当同一真空腔室内的多个电极同时放电高频输出时，干扰问题可能会导致输出不稳定。该装置通过相位同步来解决此问题。如果仅通过同步无法完全改善，还需要使用相位移相器来进一步提高稳定性。
高频电源_选配
EXO-13
该装置设计为高频电源的外部振荡器源。它能够输出13.56MHz的单个频率的额定信号。
此外,本机配备 1~4 个 BNC 输出端口,最多可为 4 个电源进行同相高频振荡。
*所连接电源的外部输入端子必须端接至50Ω,并且必须能够在10mW至100mW的距离内工作。