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高频电源系统
高频电源_选配

高频电源系统
高频电源_选配の導入・購入・検討について

通过利用爱发科(Ulvac)的高频电源选项,可以实现多种设备配置。我们提供了丰富的选配组件,能够应对多路同时放电时的干扰问题以及电源输出切换等需求。

・匹配箱切换装置:MEX-N系列・匹配箱切换装置:MEX-N系列该装置用于在单台高频电源与多个匹配器之间进行切换。即使负载阻抗差异较大,也可以使用。但是,无法同时向多个匹配器供电。
・靶材切换装置:EXN系列该装置用于在高频电源与匹配器组合的系统中,将匹配器的输出切换至多个电极。适用于负载阻抗几乎相同的电极之间的切换。
・相位移相器:PHS-N系列当同一真空腔室内存在多个电极并同时放电高频输出时,可能会因干扰问题导致输出不稳定。此装置通过相位同步或调整相位来改善这些问题。
・同步单元:EXO-13当同一真空腔室内的多个电极同时放电高频输出时,干扰问题可能会导致输出不稳定。该装置通过相位同步来解决此问题。如果仅通过同步无法完全改善,还需要使用相位移相器来进一步提高稳定性。

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MEXーN系列

这是一台用于匹配 RF 溅射、等离子体 CVD、蚀刻等离子体发生电源的开关机。

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EXN系列

EXN 系列是目标切换器,可用于切换多个直流溅射电极和 RF 溅射电极的电源目的地,或将多个直流电源或 RF 电源的输出切换到单个电极


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PHS-N系列

该系统旨在逐步淘汰等离子体发生电源,例如射频溅射,等离子体CVD和蚀刻。
该系统可以任意更改工作频率为13.56MHz的多个RF电源的输出相位。

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EXO-13

该装置设计为高频电源的外部振荡器源。它能够输出13.56MHz的单个频率的额定信号。
此外,本机配备 1~4 个 BNC 输出端口,最多可为 4 个电源进行同相高频振荡。
*所连接电源的外部输入端子必须端接至50Ω,并且必须能够在10mW至100mW的距离内工作。

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