可用于切换各种电源的切换装置
高频电源系统
高频电源_选配
EXN系列
ULVAC
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关于EXN系列的介绍、购买、商讨
EXN 系列是目标切换器，可用于切换多个直流溅射电极和 RF 溅射电极的电源目的地，或将多个直流电源或 RF 电源的输出切换到单个电极
特点
- 可以切换匹配框的输出。
- 由于不需要为每个阴极安装匹配的盒子，因此为降低设备成本做出了巨大贡献。
- 有两种类型的开关方法可供选择：手动和电机驱动。 我们还准备了可以处理更高功率的水冷系统。
- 它还可以用作直流电源和直流脉冲电源输出的开关装置。
- 由于只有一个匹配框，因此超出匹配范围的载荷不能相互使用。
规格
| 规范 | 风冷式目标切换器 规格 | |||||
| EXN2T-40A | EXN3T-40A | EXN4T-40A | EXN2M-40A | EXN3M-40A | EXN4M-40A | |
| 开关触点数量 | 2积分 | 3积分 | 4积分 | 2积分 | 3积分 | 4积分 |
| 使用频率 | DC-13.56MHz | |||||
| 额定载流电流 | 40A | |||||
| 切替方式 | 手动 | 电 | ||||
| 冷却方式 | 自然风冷 | |||||
| 规范 | 水冷式目标切换器规格 | |||||
| EXN2T-70W | EXN3T-70W | EXN4T-70W | EXN2M-70W | EXN3M-70W | EXN4M-70W | |
| 开关触点数量 | 2积分 | 3积分 | 4积分 | 2积分 | 3积分 | 4积分 |
| 使用频率 | DC-13.56MHz | |||||
| 额定载流电流 | 70A | |||||
| 切替方式 | 手动 | 电 | ||||
| 冷却方式 | 水冷式 | |||||
