解决放电干扰问题并可在电极间均衡调节电压的相移单元
高频电源系统
高频电源_选配
PHS-N系列
ULVAC
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关于PHS-N系列的介绍、购买、商讨
该系统旨在逐步淘汰等离子体发生电源,例如射频溅射,等离子体CVD和蚀刻。
该系统可以任意更改工作频率为13.56MHz的多个RF电源的输出相位。
特点
- 可以控制多个 RF 电源的相位。
- 相移功能可针对阴极间差异进行调整，并提供变化小的稳定工艺。
规格
| 型 | PHS-04N | PHS-08N | |
| 输入规格 | 输入电压 | 单相AC100V-240V | |
| 输入电容 | 70VA | ||
| 输出规格 | 输出通道数 | 4 | 8 |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.05% | ||
| 相位设定范围 | 0°～359.9° | ||
| 尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 480×192×49（mm） | ||
