可将高频电源输出用于各种负载切换的匹配器切换单元
高频电源系统
高频电源_选配
MEXｰN系列
ULVAC
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关于MEXｰN系列的介绍、购买、商讨
这是一台用于匹配 RF 溅射、等离子体 CVD、蚀刻等离子体发生电源的开关机。
特点
- 可以在多个匹配的框之间切换。
- 它可以在不放电时使用，并通过减少设备中安装的电源数量来降低设备成本。
- 由于一个阴极使用一个匹配框，因此可以选择具有不同阻抗的各种阴极。
规格
| 容量范围 | 切换的匹配框数 | ||||||
| ２台 | ３台 | ４台 | ５台 | ６台 | ７台 | ８台 | |
| 500, 1kW | MEX-2N-1k | MEX-3N-1k | MEX-4N-1k | MEX-5N-1k | MEX-6N-1k | MEX-7N-1k | MEX-8N-1k |
| 3kW | MEX-2N-3k | MEX-3N-3k | MEX-4N-3k | MEX-5N-3k | MEX-6N-3k | MEX-7N-3k | MEX-8N-3k |
| 5kW | MEX-2N-5k | MEX-3N-5k | MEX-4N-5k | - | - | - | - |
