具有极高通用性的高频电源系统
高频电源系统
高频电源_N系列
RFS-N 系列
ULVAC
关于RFS-N 系列的介绍、购买、商讨
RFS-N 系列是 13.56MHz、0.5kW/1/kW/3kW/5kW 输出射频电源，用于等离子体处理。 配备高效射频放大器，体积小、重量轻。
此外，射频电源具有内置的自动匹配控制器功能，因此可以只用主机来控制射频电源和匹配系统的功率。
特点
- 通过安装具有高功率转换效率的射频电路来实现节能。
- 通过高速算法进行高速自动匹配
- 射频电源内置自动匹配功能
- 可进行外部模拟控制和串行通信控制。
- 通过基于作为设备制造商多年积累的专业知识进行设计，实现压倒性的可靠性。
规格
| RF 电源 型 | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| 输入规格 | 输入额定电压 | 单相的 AC200 - 220V | 三个阶段 AC200 - 220V | ||
| 输入电容 | 1.2 kVA 或更低 | 1.8 kVA或更低 | 5 kVA或更低 | 8 kVA或更低 | |
| 输出规格 | 振荡频率 | 13.56MHz | |||
| 最大额定功率 | 500W（50Ω 负载下） | 1000W（50Ω 负载下） | 3000W（50Ω 负载下） | 5000W（50Ω 负载下） | |
| 输出连接 | N型 | HN型 | DIN 7/16 | ||
| 冷却方式 | 强制风冷 | 强制风冷+水冷式 | |||
| 无需冷却水 | 流量 4L/min | 流量 6L/min | |||
| 尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 240 x 495 x 150(mm) | 480 × 500 × 150(mm) | |||
| 质量 | 约11kg | 约23kg | |||
| 法规遵从性 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | ||||
| 匹配框格式 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 输入功率 | 30～500W | 30～1000W | 30～3000W | 50～5000W |
| 允许输出电流 | 30Arms | 80Arms | 120Arms | |
| 允许输出电压 | 2500Vpp | 5000Vpp | 10000Vpp | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | 水冷 （2L/min） | ||
| 尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 375 × 250 ×120(mm) | 375 × 250 × 170(mm) | 450 × 500 × 248(mm) | |
| 质量 | 约8kg | 约10kg | 约21kg | |
| 法规遵从性 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | |||
