高频电源系统
高频电源_N系列
高频电源系统
高频电源_N系列の導入・購入・検討について
N系列高频电源通过调整整合器内部的设置，实现了广泛的匹配范围，具备适应各种负载的高通用性。此外，配备了高效RF放大器，成功实现了小型化和轻量化设计。
同时，RF电源本体内置了自动匹配控制器功能，无需额外的外部设备即可实现对RF电源输出功率和匹配系统的整体控制。N系列是集性能与便利性于一体的下一代高频电源系统。
高频电源_N系列
RFS-N 系列
RFS-N 系列是 13.56MHz、0.5kW/1/kW/3kW/5kW 输出射频电源，用于等离子体处理。 配备高效射频放大器，体积小、重量轻。
此外，射频电源具有内置的自动匹配控制器功能，因此可以只用主机来控制射频电源和匹配系统的功率。