RF电源 / 匹配切换机
RMG-1303
ULVAC
RMG-1303是适用于RF溅射、CVD、刻蚀等，等离子工艺的13.56MHz，300W功率的匹配器一体式RF电源。匹配器和RF电源一体化设计，体积小、重量轻。适用于从研究开发设备到量产设备的广泛领域。
特点
- 可通过低输出功率进行控制
可通过1W的低输出功率进行控制 - 标准配备脉冲RF输出功能
标准搭载500Hz～100KHz的脉冲RF输出功能，可在低功率下进行控制 - 标配外部同步端子
标准搭载端子（BNC端子），用于叠加操作的13.56MHz同步信号的输入和输出 - AC100V至AC220V 的广泛输入
单相 100V 至 220V / 50Hz 至 60Hz 的广泛输入 - 体积小、重量轻
200mm×200mm×350mm / 10Kg的小型轻量电源 - 支持各种规格
RoHS,CE,KC,SEMI-F47兼容
用途
- 溅射设备
- CVD设备
- 等离子清洗设备
- 等离子刻蚀设备
- 等离子去胶设备
- RF离子源
- 射频中和器
规格
电源功能部
| 额定输入电压 | AC100V～220V(单相 50～60Hz) |
| 额定输入容量 | 700VA |
| 泄漏电流 | 5mA 以下 |
| 输入接口 | IEC60320-C14 |
| 振荡频率 | 13.56MHz±0.01% *1 |
| 额定行波功率 | 300W (50Ω负载时) |
| 额定反射波功率 | 80W |
| 功率稳定性 | ±1%以内或±2W以内的较大值(50Ω负载) |
| 冷却方式 | 风扇强制空冷 |
*1 可输出500Hz～100KHz的脉冲RF
匹配器功能部分
| 额定功率 | 300W |
| 额定电流 | 10Arms |
| 额定电压 | 2500Vpp/±2500Vdc(标准) *2 |
| 输出电极 | 2-M4(标准)･N･HN･DIN7/16 *3 |
| 匹配精度 | VSWR1.2或者3W以下 |
*2 可选择变更额定电压
*3 可选择更改为连接器输出类型
尺寸图
