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真空搬送机器人
ELEC/COVOT 系列
ELEC-RZ
ULVAC
ELEC-RZ是以COVOT系列出色的机能·性能为基础的对应高真空的搬送机械手，实现了紧凑化和降成本。
特点
- 真空密封采用磁流体密封，支持高达10-6Pa的高真空。
- 致动器的小型化使其紧凑并使其易于安装在设备上。
- 根据行经，转弯半径，手臂数量，有多种可选。
- 采用了可操作性优异的多功能显示型teching。
用途
- 半导体设备的自动晶片搬送
- 各种真空实验设备的基板搬送
规格
| Pressure range | to 10-6Pa | |
| Wafer size | 200mm/300mm | |
| Number of wafer | 1 or 2 | |
| Maximum distance * | 1050mm | |
| Rotation | ±210° | |
| Z-axis stroke | 50mm | |
| Minimum rotation diameter * | 944mm | |
| Weight capacity (hand is included) | 1kg | |
| Speed | R | Max 2.5sec / full stroke |
| Θ | Max 3.0sec / 180° | |
| Z | Max 1.5sec / 20mm | |
| position Accuracy | R | ±0.1mm |
| Θ | ±0.2mm | |
| Z | ±0.2mm | |
| Teaching pendant | Attached | |
| Controller | Separation type | |
*Changes by the arm and hand.
