多级罗茨型干泵

LR 系列

LR

アルバック

通过低温区域的泵体均热化,在PVD工艺之外,尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。

特点

  • 低温区域均热化(LR系列)
    在PVD工艺之外,尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵。
  • 氦气密封
    通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构,非常安全。
  • 瞬停对策
    采取了1000msec以内瞬停对策。
  • 出色的耐腐蚀性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
  • 通信功能
    可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信,则可实现集中监控。

用途

  • 成膜装置(溅射装置/蒸镀装置等)
  • 缩短备料下料室的排气时间
  • 作为辅助排气泵(涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气)

规格

型号 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
最大
排气速度
50Hz 62 m3/h
(1030 L/min)
112 m3/h
(1860 L/min)
183 m3/h
(3100 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz 80 m3/h
(1333 L/min)
126 m3/h
(2100 L/min)
237 m3/h
(3950 L/min)
到达压力 5.0 Pa
最大排气压力 (吸入圧力)  大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG100
排气口 KF40 VG50
质量 180 kg 245 kg 335 kg 415 kg
电源 *1 三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值 稳定时 6.9 A
(at 200V)
11.2 A
(at 200V)
18.9 A
(at 200V)
20.8 A
(at 200V)
最大值 7.3 A
(at 200V)
11.8 A
(at 200V)
20.6 A
(at 200V)
48.5 A
(at 200V)
冷却水一次压力 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa
冷却水出入口压差 >0.1 MPa >0.2 MPa
冷却水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min
吹扫气 一次压力 0.1~0.5 MPa
二次压力 0.05~0.1 MPa
氮气吹扫 5 SLM
气镇 0~45 SLM 没有 0~45 SLM

*1 请订购时指定。

型号 LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601 LR3601-T
(TT)
LR3601-R LR3601-TR
(TTR)
使用泵 干式
真空泵
LR60 LR90 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T
机械
增压泵
PRC-03A PRC-06A PRC-012A PRC-018A PRC-036C PRC-036C
(-T)
PRC-036D PRC-036D
(D-T)
最大
排气
速度
50Hz 359 m3/h
(5,980
L/min)
653 m3/h
(10,900
L/min)
1,012 m3/h
(16,900
L/min)
1,701 m3/h
(28,350
L/min)
3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz 365 m3/h
(6,080
L/min)
701 m3/h
(11,700
L/min)
1,051 m3/h
(17,500
L/min)
1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到达压力 0.67 Pa
最大排气压力
(吸入圧力)
大气压
最大排气口压力
(排出圧力)
1~ 大气压 Pa
吸气口 (CE规格) VG80
(KF80)
VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排气口 KF40 KF50
MBP表面处理 〇 *1 〇 *1 〇 *1 〇 *1 × T:×
TT:×
× TR:×
TTR:〇
质量 275 kg 370 kg 420 kg 545 kg 660 kg 720 kg 660 kg 720 kg
电源
*2
三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
电流值 稳定时 7.0 A
(at 200V)
12.3 A
(at 200V)
13.7 A
(at 200V)
21.4 A
(at 200V)
31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值 9.6 A
(at 200V)
19.0 A
(at 200V)
24.2 A
(at 200V)
39.8 A
(at 200V)
58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷却水
一次压力
0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa
冷却水
出入口压差
>0.1 MPa 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa
冷却水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min
吹扫气 一次
压力
0.1~0.5 MPa
二次
压力
0.05~0.1 MPa
N2
吹扫
5 SLM
气镇 0~45 SLM 没有 *3 0~45 SLM 没有 *3 0~45 SLM

*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可选是否进行MBP表面处理。
*2 请订购时指定。
*3 根据用途,使用气镇的规格也可报价。

配饰

消音器 (选项)

型号 材質 表面处理 重量
(kg)
法兰
接口
LR
300
LR
600
LR
1200
LR
1800
L&
3601
LR
60
LR
90
LR
180
LR
421
LR
421-T
RS-01 +
kitA
SUS
304
GBB处理 4.1
kg
KF40 - - - - - - -
RS-01 +
kitB
KF40 - - - - - - - -
RS-02 +
kitA
8.3
kg
KF40 - - - - - - - -
RS-02 +
kitB
KF40 - - - - - - -
RS-03 +
kitA
磨板 12.5
kg
KF50 - - - - - - - -
RS-03 +
kitB
- - - - - - - - -

排气速度曲线

  • LR60
LR60_curve.png
  • LR90
LR90_curve.png
  • LR180
LR180_curve.png
  • LR421-T
LR421_curve.png
  • LR300 / LR600
LR300_600_curve.png
  • LR1200
LR1200_curve.png
  • LR1800
LR1800_curve.png
  • LR3601(-R / -TR / -TTR)
LR3601R_TR_TTR_curve.png
  • LR3601(-T / -TT)
LR3601T_TT_curve.png

    尺寸图

    • LR60LR60_en_size.png
    • LR90LR90_en_size.png
    • LR180LR180_en_size.png
    • LR300LR300_en_size.png
    • LR421LR421_en_size.png
    • LR421-TLR421-T_en_size.png
    • LR600LR600_en_size.png
    • LR1200LR1200_en_size.png
    • LR1800LR1800_en_size.png
    • LR3601LR3601_en_size.png
    • LR3601-RLR3601R_en_size.png
    • LR3601-TLR3601T_en_size.png
    • LR3601-TRLR3601TR_en_size.png
    • LR3601-TTLR3601TT_en_size.png

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