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[低温泵的技术信息1]
使用了He冷冻机代替替代氟利昂系冷肼的极低温冷肼开售
2000年10月27日
-业界首创、10分钟以内冷却、可升温-
换成替代氟利昂系冷肼
使用了He冷冻机的极低温冷肼开售

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使用了He冷冻机代替替代氟利昂系冷肼的极低温超级冷肼(速度系列TS型,水分子排气速度10,000~100,000L/s)的销售已经开始。

批次式的真空设备或光学用成膜装置,为了让真空排气时和蒸发时基板排出的水分以更好的效率排气,在蒸发室内或者主阀和蒸发室之间的排气管上配置极低温面,以图缩短排气时间或降低水分分压。

真空蒸发,从镜面散热器、把手、开关等汽车部件,眼镜、手表盖、相机等的高精密部件,到化妆品容器或装饰品等生活用品都有应用。进行真空蒸发时,会产生大量的水分子,需要使用替代氟利昂冷肼进行处理。

其中,替代氟利昂(HFC)是一种不会破坏臭氧层的物质,与CO2的数百万倍温室效果相比只有1万几千倍。防止全球变暖京都会议上成为了焦点。
这次销售的产品中使用的氦气,对臭氧层和全球变暖影响系数为0,不会对环境产生影响。

目前为止使用了氦气的小型冷冻机,像氟利昂系的冷肼那样短时间冷却存在技术困难。但是,这次大型冷冻机的开发获得了成功。我们为了取代替代氟利昂冷肼,对地球环境友好的冷肼进行了商品化。

本次发售的TS型,设计了比之前替代氟利昂系冷肼更优的性能,可以达到100K~130K(开尔文)。可以实现以往无法实现的10分钟以内各自完成冷却、升温,是划时代的产品。

此外,与替代氟利昂冷肼使用的压缩机相比,TS型冷肼的压缩机由于小型轻量化对设置场所没有限制。

另外,不需要冷媒的配管、隔热,无需担心结露的问题。标准纳期为1.5个月,价格便宜等也是其优点之一。

还有,服务体制可以利用ULVAC的全国服务网络,同时往韩国、台湾地区扩充也在预定当中。

此外,不仅仅是已经使用的替代氟利昂系冷肼,液氮冷肼也可简单进行替换。相关技术已经提交专利申请。

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