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宇宙开发事业团体筑波中心的人工卫星机器实验装置(6m直径放射计腔体:日立制作所制造)的真空制造,采用了我公司生产的4台世界最大级52型低温泵(口径:1.5m)。

52

52型低温泵

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人工卫星机器实验装置

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资料提供:宇宙开发事业团体、日立制作所

52型低温泵的规格
排气速度 N2: 61,000 L/s
H2: 84,000 L/s
H2O: 186,000 L/s
到达压力 1×10-6Pa or less

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解决方案

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