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世界最大级的低温泵（52型）在人工卫星机器试验场运行
宇宙开发事业团体筑波中心的人工卫星机器实验装置（6m直径放射计腔体：日立制作所制造)的真空制造，采用了我公司生产的4台世界最大级52型低温泵(口径：1.5m)。
52型低温泵
人工卫星机器实验装置
资料提供：宇宙开发事业团体、日立制作所
| 52型低温泵的规格 | ||
| 排气速度 | N2: | 61,000 L/s |
| H2: | 84,000 L/s | |
| H2O: | 186,000 L/s | |
| 到达压力 | 1×10-6Pa or less | |
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