排気ユニット YMVシリーズ|セレクションガイド|HOW TO|ULVAC SHOWCASE

セレクションガイド

アルバックのメカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット YMVシリーズは、ポンプ排気量に合わせて4種類から選定でき、ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計により、生産設備でのご利用に最適です。
従来のメカニカルブースタポンプ排気装置YM-VDと同じコンセプトの架台で、油回転真空ポンプVSシリーズを搭載することも可能になりました。

基本構成

基本構成

① 架台ユニット【ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き】
② メカニカルブースタポンプ(別途ご手配いただきます)
③ 油回転真空ポンプ(別途ご手配いただきます)

オプション(別途ご手配いただきます)

① オイルミストトラップ
② 大気圧駆動【インバータ付き】
③ 制御盤
④ 端子台ボックス
⑤ 吸気口フランジ
⑥ 遅延真空電磁弁
⑦ 冷却水フロースイッチ

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ご要望の排気速度のポンプおよび必要に応じてオプションを選定いただきます。
(※注意:ポンプおよびオプション部品は架台ユニットとは別手配となります)

ご発注時の注意点

  • YMVシリーズは、メカニカルブースタポンプ用の架台ユニットです。
    メカニカルブースタポンプ+油回転真空ポンプは別に手配いただきます。
  • メカニカルブースタポンプ,油回転真空ポンプの仕様は、単体のカタログを参照下さい。単体オプションの追加が可能です。
    (※大気圧駆動(インバータ)につきましては、YMVのオプションから選定して下さい)

YMVシリーズと搭載ポンプ例

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架台ユニット(YMVシリーズ) メカニカルブースタポンプ 油回転真空ポンプ
YMV-01A PMB100D ※ VD30C ※
PMB-001C(M)
YMV-03A PMB300D ※ VD40C ※
PRC-003A
PMB-003C(M)
YMV-06A PMB600D ※ VD60C ※
PRC-006A
PMB600D ※ VD90C ※
PRC-006A
YMV-12A PMB600D ※ VS1501 ※
PRC-006A
PMB600D ※ VS2401 ※
PRC-006A
PMB1200D ※ VS1501 ※
PRC-012A
PMB1200D ※ VS2401 ※
PRC-012A
YMV-18A PRC-018A VS2401

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【注意】
クリーンルーム内でご使用の場合は、キャンドモーター仕様のメカニカルブースタポンプPRCシリーズの搭載を推奨いたします。
YMV-18Aは、PRC-018A搭載モデルです。ご要望に合わせてご提供いたします。

オプションの紹介

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① オイルミストトラップ

油回転真空ポンプから排出される油煙を除去します。
高吸入圧力での連続運転や大気〜真空の繰り返し排気が頻繁な場合は、高負荷用のミストトラップを選定して下さい。

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油回転真空ポンプ型式 低〜中負荷用
10,000Pa以下
高負荷用
10,000Pa以上
VD30C/VD40C TM201 TM401
VD60C/VD90C TM401 TM-2 or TM-2F
VS1501 TM-3 or TM-3F
VS2401 TM-4 or TM-4F

排気口が傘タイプではなくフランジマウントを希望場合は、Fが付く型式を選定ください。

② 大気圧駆動(インバータ)

メカニカルブースターポンプを大気圧駆動させる時にYMVオプションインバータを採用します。
架台取付タイプ(ポンプとは別置)となります。

【注意】メカニカルブースタポンプ単体オプションのポンプ一体型インバータは選定できません。

MBP取付(取付座付) 別置きタイプ
オプション設定なし I2(YMV用、PMB100D除く)
MBP水冷設定INV、200〜240V用
オプション設定なし I4(YMV用、PMB100D除く)
MBP水冷設定INV、380〜480V用
オプション設定なし A2(YMV用、PMB100Dのみ、その他は特型対応)
MBP空冷設定INV、200〜240V用
オプション設定なし A4(YMV用、PMB100Dのみ、その他は特型対応)
MBP空冷設定INV、380〜480V用

③ 制御盤

油回転真空ポンプとメカニカルブースタポンプのON/OFFスイッチが付いている制御盤です。モータブレーカー/サーキットプロテクタが内臓されています。

img-ymv-06.jpg

※ ポンプの選定(機種と電圧)により、異なった制御盤を用意しています。

④ 端子台ボックス

油回転真空ポンプとメカニカルブースタポンプのケーブル接続を一か所へまとめた端子台付きのボックスです。制御盤とは併用しません。
※ポンプの選定(機種と電圧)により、異なった端子台ボックスを用意しています。

⑤ 吸気口フランジ

メカニカルブースタポンプの吸気口上に取り付ける短管です。
Φ18ゲージポート+リークポート+1/4Bソケットが付いています。

※100用(VG50)、300D/600D用(VG80)、1200用(VG100)、1800用(VG150)から選定

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⑥ 遅延真空電磁弁

停止させた時に油回転真空ポンプの油が吸気口側に逆流するのを抑える目的で真空破壊(リーク)させる電磁弁です。
※DC24V/AC200V/AC220V/AC380V/AC400V/AC415V/AC440Vから選定

遅延真空電磁弁を採用する際は、配管に1/4Bのソケットが必要になります。オプション⑤の吸気口フランジとセットでの購入をお奨めします。

⑦ 冷却水フロースイッチ

ポンプの水冷水量を監視します。冷却水不足でのトラブルを回避します。
※DC24V仕様となります。

架台ユニットYMVシリーズの仕様

架台ユニット *1 YMV-01A YMV-03A YMV-06A
ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き
推奨ポンプ *2 メカニカル・ブースター・ポンプ PMB100D PMB300D PMB600B
油回転真空ポンプ VD30C VD40C VD60C VD90C
最大排気速度 m3/hr (L/min) 50Hz 95(1,580) 250(4,100) 450(7,500) 500(8,330)
60Hz 115(1,900) 290(4,800) 520(8,670) 600(10,000)
最大吸入圧力 Pa 50Hz 8.5×103 7.0×102 1.0×103 1.3×103
60Hz 4.5×103 7.0×102 10×103 1.1×103
到達圧力 Pa *3 4.0×10-1
冷却水 冷却方式 *4 空冷 空冷/水冷
一次側圧力 MPaG 0.3
出力口差圧 MPaG 0.05
冷却水温度 ℃ 5~30
冷却水量 L/min 2.0≦
吸気口積 JIS B 2290 VG50相当 VG80相当
排気口 JIS B 2290 VG40相当
質量 kg 145 175 260 285
オプション 大気圧駆動(インバータ)*5 12 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用
14 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用
オイルミストトラップ TM201/TM401 TM401/TM-2(F)
制御盤 *6 PMB100D+ VD30C用 PMB300D+VD40C用 PMB600D+VD60C用 PMB600D+VD90C用
端子台ボックス PMB100D+ VD30C用 PMB300D+VD40C用 PMB600D+VD60C用 PMB600D+VD90C用
吸気口フランジ *7 PMB100D用 PMB300D/PMB600D用
遅延真空電磁弁 *8 共用 (DC24V/AC200C/AC220V/AC380V/AC400V/AC415V/AC440Vから選定)
冷却水フロースイッチ *9 PMB300D+VD40C/PMB600D+VD60C/PMB600D+VD90C用

架台ユニット *1

YMV-12A
ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き

推奨ポンプ *2

メカニカル・ブースター・ポンプ PMB600D PMB1200D
油回転真空ポンプ VS1501 VS2401 VS1501 VS2401
最大排気速度 m3/hr (L/min) 50Hz 550(9,200) 600(10,000) 850(14,200) 1,000(16,700)
60Hz 660(11,000) 720(12,000) 1,000(16,700) 1,200(20,000)
最大吸入圧力 Pa 50Hz 1.5×103 2.4×103 1.3×103 2.0×103
60Hz 1.3×103 2.1×103 1.1×103 1.7×103
到達圧力 Pa *3 6.7×10-1
冷却水 冷却方式 *4 水冷
一次側圧力 MPaG 0.3
出力口差圧 MPaG 0.1
冷却水温度 ℃ 5~30
冷却水量 L/min 4.0≦ 5.0≦ 4.0≦ 5.0≦
吸気口積 JIS B 2290 VG80相当 VG100相当
排気口 JIS B 2290 VG50相当
質量 kg 480 520 530 570
オプション 大気圧駆動(インバータ)*5 12 PMB600D用 PMD1200D用
14 PMB600D用 PMD1200D用
オイルミストトラップ TM-3(F) TM-4(F) TM-3(F) TM-4(F)
制御盤 *6 PMB600D+VS1501用 PMB600D+VD2401用 PMB1200DVS1501用 PMB1200D+VS2401用
端子台ボックス PMB600D+VS1501/VS2401用 PMB1200D+VS1501/VS2401用
吸気口フランジ *7 PMB300D/PMB600D用 PMB1200D用
遅延真空電磁弁 *8 共用 (DC24V/AC200C/AC220V/AC380V/AC400V/AC415V/AC440Vから選定)
冷却水フロースイッチ *9 PMB600D+VS1501用 PMB600D+VD2401用 PMB120D+VS1501用 PMB1200D+VS2401用

HOW TO

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