真空計｜セレクションガイド｜HOW TO｜ULVAC SHOWCASE

セレクションガイド

真空計

真空計　セレクションガイド

真空計測は研究開発、生産技術、品質管理、製造プロセスに必須の基本技術です。
ULVACでは広い分野に対応可能な信頼性の高い真空計を取り揃えています。

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ピラニ真空計

気体の熱伝導を利用した真空計です。低真空～中真空を測定します。主流であるトランスデューサ型、従来からの表示機一体型の他、スマホに接続して使用出来るタイプもラインアップしています。

分類・特長 測定範囲 ディスプレイ 測定値出力 通信 /
デジタル出力		 電源電圧 型式
SWU10-U.jpg ・スマホ / パソコンに接続して使用
・専用電源、専用ディスプレイ不要		 5×10-2～
1×105(Pa)		 スマホ /
パソコンで表示		 －
 － －
 SWU10-U
SW100AR.png ・大気圧仕様
・セットポイント2
 5×10-2～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力		 － DC24V SW100-A

・セットポイント無		 RS232C /
RS485		 SW100-R
SP1.jpg ・10-11Pa台測定可
・セットポイント2		 4×10-1～
3×103(Pa)		 オプション DC0-10V
非線形出力		 － DC24V SP1
GP-1000G.jpg ・ＬＣＤ表示
・セットポイント3		 0.4～2700
(Pa)		 デジタル
 DC0-10V
リニア出力		 RS232C /
BCD		 AC100
～240V		 GP-1000G
GP-2001G.jpg ・7セグメント LED4.5桁表示
・セットポイント3		 0.4～3000
(Pa)		 デジタル DC0-10mV
非線形出力		 － AC100
～240V		 GP-2001G
GP-1G.jpg ・セットポイント無 0.4～2700
(Pa)		 アナログ DC0-10mV
非線形出力		 － AC100～240V GP-1G

GP-1Gbox.jpg

 ・セットポイント無
・持ち運び可		 0.4～2700
(Pa)		 アナログ DC0-10mV
非線形出力		 － AC100～240V GP-1Gケース付

電離真空計

気体分子をイオン化し、そのイオン電流を計測する真空計です。中真空～超高真空を測定します。トランスデューサ型のマルチイオンゲージは独自のコンセプトで低真空領域まで測定範囲を拡大します。

分類・特長 測定範囲 ディスプレイ 測定値出力 通信/
デジタル出力		 電源電圧 型式
ST200-A.png

・三極管型メタル球
・セットポイント3

 1×10-5～
1×101(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力		 －

DC24V

 ST200-A
ST200-A+SWU10-R.png

・フルレンジ測定
（三極管型メタル球＋ピラニ測定子）
・セットポイント3

 1×10-5～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力
 －
 DC24V ST200-A + SWU10-R
ST200-A+SWU10-R+SAU.png

・フルレンジ測定
（三極管型メタル球＋ピラニ測定子＋大気圧センサ）
・セットポイント3

 1×10-5～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力		 －
 DC24V ST200-A + SWU10-R + SAU
ST200-A.png

・三極管型メタル球
・セットポイント無

 1×10-5～
1×101(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力
 RS232C/RS485 DC24V ST200-R
ST200-A+SWU10-R.png

・フルレンジ測定
（三極管型メタル球＋ピラニ測定子）
・セットポイント無

 1×10-5～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力
 RS232C/RS485 DC24V ST200-R + SWU10-R
ST200-A+SWU10-R+SAU.png

・フルレンジ測定
（三極管型メタル球＋ピラニ測定子＋大気圧センサ）
・セットポイント無

 1×10-5～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力
 RS232C/RS485 DC24V
 ST200-R + SWU10-R + SAU
SH200-A.png

・B-A型メタル球
・セットポイント3

 1×10-5～
1×101(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力
 － DC24V SH200-A
SH200-A+SWU10-R.png

・フルレンジ測定
（B-A型メタル球＋ピラニ測定子）
・セットポイント3

 1×10-5～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力
 －
 DC24V SH200-A + SWU10-R
SH200-A+SWU10-R+SAU.png

・フルレンジ測定
（B-A型メタル球＋ピラニ測定子＋大気圧センサ）
・セットポイント3

 1×10-5～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力
 － DC24V SH200-A + SWU10-R + SAU
SH200-A.png

・B-A型メタル球
・セットポイント無

 1×10-5～
1×101(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力
 RS232C/RS485 DC24V SH200-R
SH200-A+SWU10-R.png

・フルレンジ測定
（B-A型メタル球＋ピラニ測定子）
・セットポイント無

 1×10-5～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力		 RS232C/RS485 DC24V SH200-R + SWU10-R
SH200-A+SWU10-R+SAU.png

・フルレンジ測定
（B-A型メタル球＋ピラニ測定子＋大気圧センサ）
・セットポイント無

 1×10-5～
1×105(Pa)		 オプション DC0-10V
LOG出力		 RS232C/RS485 DC24V SH200-R + SWU10-R + SAU
GI-D7_WIT.png

・三極管型ガラス球
・セットポイント2

 1.3×10-5～
6.7×10-1 (Pa)		 デジタル DC0-10V 仮数部リニア出力、
疑似LOG出力、
レンジホールドリニア出力		 RS232C AC100V GI-D7/WIT
GI-D7_WIT.png ・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2		 1.3×10-6 〜2.3×10-2 (Pa) デジタル GI-D7/WIB
SC1.png ・冷陰極型
・セットポイント2		 1×10-5～
1×100 (Pa)		 オプション DC0-10V
非線形出力		 － DC24V SC1

キャパシタンスマノメータ

気体分子が隔膜を押す力を計測する真空計です。正確な真空計測が可能です。測定範囲に応じ4種類をラインアップしています。

分類・特長 測定範囲 ディスプレイ 測定値出力 通信/
デジタル出力		 電源電圧 型式

CCMT.png

・絶対圧真空計
・高精度
・セットポイント無

 13～1.3×105 (Pa) オプション 　DC0-10V
リニア出力		 － DC24V CCMT-1000D
1.3～1.3×104 (Pa) CCMT-100D
1.3×10-1～1.3×103 (Pa) CCMT-10D
1.3×10-2～ 1.3×102 (Pa) CCMT-1D

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