セレクションガイド

真空計 セレクションガイド

圧力測定(真空計測)は研究開発、生産技術、品質管理、製造プロセスに必須の基本技術です。

広い分野に応じられる信頼性の高い真空計、真空計測器はULVACの自信作です。

基本的なピラニ真空計から超高真空計測等の多種多様な使用目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。

省スペース・低コストのトランスデューサ型真空計もご好評です。 真空計JCSS校正サービス アルバック製の真空計はもちろん、お客様が現在お持ちの真空計のJCSS校正を行います。

圧力単位(Pa)

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ピラニ真空計:汎用型(GPシリーズ)

気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。

分類・特長 測定範囲 ディスプレイ 測定値出力 通信/
デジタル出力
電源電圧 型式
GP-1G-200x200.jpg ・安価
・セットポイント無
0.4~
2,700(Pa)
アナログ DC0-10mV
非線形出力
- AC100
240V
GP-1G
gp-1g-case.jpg 持ち運び可 GP-1Gケース付
GP-1GRY-200x200.jpg ・ロングセラー
・セットポイント2
GP-1GRY
gp-1000g-gp-2001g-gp-2002g.jpg ・LCD表示
・セットポイント3
デジタル DC0-10V
リニア出力
RS232C/
BCD
GP-1000G
GP-2001G-GP-2002G-200x200.jpg ・7セグメントLED4.5桁表示
・セットポイント3
0.4~
3,000(Pa)
- GP-2001G
DC24V GP-2002G

ピラニ真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長 測定範囲 測定値出力 通信/ デジタル出力 電源電圧 型式

sp1.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント2
0.4~
3,000 (Pa)
DC0-5V 非線形出力 - DC24V SP1

sw1.png

・大気圧仕様
・セットポイント2

0.05~
100,000 (Pa)
DC0-10V リニア出力 SW1-1
RS232C/ RS485 SW1-2

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

電離真空計:汎用型(GIシリーズ)

分類・特長 測定範囲 測定値出力 通信/
デジタル出力
電源電圧 型式

gi-m2-gi-d7.jpg

・三極管ガラス球
・デジタル表示
・セットポイント2

1.3×10-5
6.7×10-1(Pa)
DC0-10V 仮数部リニア出力、
疑似LOG出力、
レンジホールドリニア出力
RS232C AC100V GI-D8/WIT
gi-m2-gi-d7.jpgのサムネイル画像 ・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2
1.3×10-6 〜2.3×10-2(Pa) GI-D7/WIB
gi-m2-gi-d7.jpgのサムネイル画像 ・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2
5×10-8~ 9.9(Pa) GI-M2
axtran-150x150.jpg ・10-11Pa測定可 5×10-11~ 1×10-2(Pa) DC0-10V
リニア出力
RS232C/ BCD AC100~ 240V AxTRAN

電離真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長 測定範囲 測定値出力 通信/
デジタル出力
電源電圧 型式

unitsc1.jpg

・冷陰極型
・セットポイント2

5×10-5
1×100(Pa)
DC0-10V
非線形出力
- DC24V SC1

SH2-1.jpg

・B-A型メタル球
・セットポイント3

5×10-8
9.9(Pa)
DC0-10V
LOG出力
SH2-1

SH2-2.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント3

5×10-8
1×104(Pa)

SH2-1 + SPU

SH2-3.jpg

・フルレンジ測定
・セットポイント無

5×10-8
1×105 (Pa)

SH2-1 + SPU + SAU

SH2-1.jpg

・B-A型メタル球
・セットポイント無

5×10-8
9.9(Pa)
RS232C/ RS485 SH2-2

SH2-2.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント無

5×10-8
1×104(Pa)

SH2-2 + SPU

・フルレンジ測定
・セットポイント無

5×10-8
1×105(Pa)

SH2-2 + SPU + SAU

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

キャパシタンスマノメータ(隔膜真空計):トランスデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類 測定範囲 測定値出力 通信/
デジタル出力
電源電圧 型式

ccmt-d-series.jpg

・絶対圧真空計
・高精度
・セットポイント無

13~1.3×105  DC0-10V
リニア出力
- DC24V CCMT-1000D
1.3~1.3×104 CCMT-100D
1.3×10-1~1.3×103 CCMT-10D
1.3×10-2~ 1.3×102 CCMT-1D

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

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