ST200-A / R / E|ST200シリーズ|トランスデューサ型|熱陰極電離真空計|真空計|製品情報|ULVAC SHOWCASE

熱陰極電離真空計

トランスデューサ型

ST200シリーズ

ST200-A / R / E

アルバック

2021年度日本真空工業会「真空コンポーネント大賞」受賞


異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。三極管型電離真空計である本製品は、感度低下がしにくく、真空計にとって厳しい環境でもより長く精度の良い真空計測が可能です。従来の、高寿命、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。

特長

  • ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
  • フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
  • 異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
  • コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
  • ラインアップの充実:アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
  • 世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
  • 広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
  • 正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)

用途

  • 有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に
  • 真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に
  • ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に
  • 真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に
  • 真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に

※腐食性ガス(ハロゲンガス)雰囲気でのご使用の場合はご相談下さい。

仕様

型式 ST200-A ST200-R ST200-E(発売予定)
仕様 標準仕様 シリアル通信仕様 EtherCAT仕様
適応マルチイオンゲージセンサ SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
接続可能センサ マルチイオンゲージセンサ:1本
ピラニゲージSWU10-R:1本(オプション)
大気圧センサSAU:1本(オプション)
繰返精度(N2) ST200単体モード:±2%
サンプリング時間 60ms 5回の移動平均処理
測定値出力 出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間 60msec
制御入力信号 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
オープンコレクタ入力で動作、負論理
- -
制御出力信号 センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、
フィラメント電力監視
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
- -
シリアル通信仕様 - RS232C/RS-485 EtherCAT
LED表示 POWER/ERROR: パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
エミッション電流 2mA(1×10-2Pa以下), 10μA(1×10-2Pa以上)
DEGAS エレクトロンボンバード方式, エミッション電流2mA, グリッド電圧約330V
センサ耐圧 2×10+5Pa(絶対圧) * フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
センサ内容積 17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25)
使用温度範囲 10~50℃
使用湿度範囲 15~80%(ただし、結露なきこと)
保管温度 -20~65℃(非通電時、結露なきこと)
IP保護等級 IP30
電源電圧 DC20~28V (リップル、ノイズ1%以下)
8W以下
入出力コネクタ D-sub15ピン(M2.6ネジ)
質量 コントローラ:約280g 測定子(SWT-16, SWT-25): 80g
外形寸法 W×D×H 69mm×63mm×90mm (コントローラ部)
適合規格 CE




マルチイオンゲージセンサ SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
材質:フィラメント : Ir/Y2O3コート
その他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ
ピラニゲージ SWU10-R ※従来品SPUも対応
ピラニゲージセンサ SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034)
材質:フィラメント-Pt, その他-BS/Ni, メッキ, Ni, 半田
大気圧センサ SAU(NW16) 材質:SUS316L
ユニットケーブル GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m
GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
ディスプレイユニット 1CH:ISG1 (DC24V電源使用)
ディスプレイユニットケーブル SH200~ディスプレイユニット間ケーブル
2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
コネクタ 入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ))
その他 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各モード仕様

ST200-A/ST200-R/ST200-Eは、マルチオインゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび大気圧センサとのトリプルコンビネーションモードの3種類の使用方法から選択可能です。

モード ST200-A/ST200-R/ST200-E
単体モード
ST200-A/ST200-R/ST200-E
+SWU10-R
コンビネーションモード
ST200-A/ST200-R/ST200-E
+SWU10-R+SAU
コンビネーションモード
測定圧力範囲 1.0×10-5~1.0×10+1Pa 1.0×10-5~1.0×10+5Pa 1.0×10-5~1.0×10+5Pa
測定精度 1.0×10-4~3.0×10+0Pa:
±10%
1.0×10-4~1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4~1.0×10+5Pa:±20%
1.0×10-4~1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4~3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa・基準温度25℃)
接続イメージ ST200_S.png ST200+SWU10-R.png ST200+SWU10-R+SAU.png
測定圧力範囲イメージ ST200_i.png

トリプルコンビネーションはチャンバーオープン等の「大気圧」確認が必要な際に使用

パソコン/スマホ接続イメージ

SH200_cellphone+PC.png

アプリケーションソフトウェア「UL-MOBI」

パソコン用 ULVAC SHOWCASE(ウェブサイト)こちらよりダウンロード
スマートフォン用 Google Playよりダウンロード

対応端末

パソコン Windows10 64bit 以降
スマートフォン Android 6以上、USB TypeC

発注コード

※表記以外の組み合わせにつきましては販売店にお問合せ下さい。

本体 測定子型式 フィッティングタイプ 発注コード
ST200-A(アナログ出力仕様) SWT-16 NW16 210006964600
SWT-25 NW25 210006964700
SWT-16(バッフル付) NW16 210006964800
SWT-25(バッフル付) NW25 210006964900
測定子無し 210006965000
ST200-A+ピラニSWU10-R コンビネーション
(ユニットケーブル5m)
SWT-16/SWP-16 NW16/NW16 210006969000
SWT-25/SWP-25 NW25/NW25 210006969100
SWT-16(バッフル付)/SWP-16 NW16/NW16 210006969200
SWT-25(バッフル付)/SWP-25 NW25/NW25 210006969300
ST200-R(シリアル通信仕様) SWT-16 NW16 210006965100
SWT-25 NW25 210006965200
SWT-16(バッフル付) NW16 210006965300
SWT-25(バッフル付) NW25 210006965400
測定子無し 210006965500

gage_st200.png
BAゲージの測定で通常の測定真空度から、ある時点から急に真空度が下がりました。原因としてはどのようなことが考えられますか? 

仮に通常E-4Paだった環境が実際にE-6~7Paまで下がることはまずないと思われます。原因としては、測定子に汚れが付着し、感度が下がっている可能性がもっとも高いです。また、コントローラ内部回路異常の可能性もゼロではありません。

電離真空計で測定した真空度が不安定、真空計が故障したかどうかはどのような判断方法が有りますか?

まず簡単なのは測定子内部の目視確認です。新品時から明らかに変色し、指示値も変化してしまっているのなら、測定子の寿命ですので交換して下さい。
メンテナンスの一つにデガスという作業があります。グリッドに付着したガスや汚れを取り除く効果があります。条件が変わっていないのに指示値が高くなってきたりした場合に行います。デガスによって指示値に改善が見られない場合も測定子の交換をお勧めします。

トラブルシューティング 電離真空計

使用上の注意点

  1. 感度は窒素で校正されているため、残留ガスの主成分が窒素以外であると、実際の圧力と違う 値を表示します。
  2. 酸素や水蒸気を含む気体の測定ではフィラメントが反応して劣化が激しいです。
    消耗を抑えるためにエミッション電流を下げて使うか、もしくは表面にトリアコートしたフィラメントなどを 使う必要があります。
  3. 10-4Pa台以下の圧力を測定する場合は、測定子自身の脱ガスが必要です。
    脱ガスをはじめると多量の放出ガスで圧力が高くなり、逆に測定子を汚してしまう場合もあります。 脱ガスは必ず10-4Pa台以下で行ってください。
  4. 圧力が高いところ(三極管形:10-1Pa以上)で連続使用すると、フィラメントの消耗が激しくなり、一定 のエミッション電流がとれなくなるので注意をします。

トラブルチェックリスト

1. 測定子のフィラメントが点灯しない
2. 測定子のフィラメントが異常発光する(通常より明るい)
3. フィラメントは点灯しているが、圧力を表示しない
4. フィラメントは一瞬点灯するが、すぐ消える
5. 指示値がふらつく
6. 予想圧力より指示値が大きく違う
7. セットポイント信号が出力されない

1. 測定子のフィラメントが点灯しない

原因 対処方法
フィラメントの断線 測定子の交換
測定子ケーブルの断線 測定子ケーブルの修理、交換
圧力が高いため ピラニ真空計などで圧力を確認
フィラメント選択スイッチの設定ミス 正しいフィラメントを選択

2. 測定子のフィラメントが異常発光する(通常より明るい)

原因 対処方法
測定子ケーブルの断線 測定子ケーブルの修理、交換
コントローラの故障 修理を依頼
測定子の劣化 測定子の交換

3. フィラメントは点灯しているが、圧力を表示しない

原因 対処方法
測定子ケーブルの断線 測定子ケーブルの修理、交換
コントローラの故障 修理を依頼

4. フィラメントは一瞬点灯するが、すぐ消える

原因 対処方法
測定している圧力が高いため保護回路が働く ピラニ真空計などで圧力を確認
コントローラの故障 修理を依頼

5. 指示値がふらつく

原因 対処方法
測定子または測定子が取り付けてある接続部の真空リーク 測定子の交換または接続部の真空リークの改善
測定子の汚れ 測定子の交換
測定子ケーブルが振動している 測定子ケーブルが常に振動を受けている場合、測定子ケーブル内部の摩擦起電力によって指示値がふら付く場合あり、ケーブルの設置方法を再検討

6. 予想圧力より指示値が大きく違う

原因 対処方法
漏れ電流が発生している 測定子の汚れ、測定子 ケーブルの絶縁不良のため交換
・感度係数の設定が違う
・測定している気体が窒素または空気(air)ではない
マニュアルを見て正しく設定
実際に圧力が予想と異なっている 他の真空計で確認

7. セットポイント信号が出力されない

原因 対処方法
コントローラ内リレーの交換 リレーの故障 → 修理を依頼
エミッション電流が正常に取れなくなりかかっている エミッションがNGになるとセットポイント信号の出力もキャンセルされる → 測定子の交換

エミッション電流が流れなくなる原因と対策

原因 対処方法
圧力が高い(10-1Pa以上) 排気系の確認
フィラメントの断線 測定子の交換
フィラメントの消耗 測定子の交換
測定子内部の汚れ 測定子の交換
測定子ケーブルの接触不良・断線 再接続または測定子ケーブルの交換
コントローラ内電源回路故障 修理を依頼
熱陰極型電離真空計とは

真空計には測定する圧力帯によって測定原理を変えたものが用意されています。

熱陰極型電離真空計とは

測定子とコントローラー、あるいは測定子・コントローラーと測定子とコントローラーを繋ぐケーブルで構成され、ピラニ真空計よりも低い圧力を測定できる真空計です。冷陰極型真空計よりも測定精度が高い特長があります。

ピラニ真空計や冷陰極型真空計の場合、誤って大気圧を測定しても直ぐに測定子は壊れません。しかし、熱陰極型電離真空計は最悪の場合、測定子が使えなくなる恐れがある為、扱いには注意が必要です。

測定可能範囲は一般的には1.0×10-1Pa~1.0×10-5Paですが、機種によっては1.0×10-8Paまで測定可能なものもあります。

測定原理

熱陰極電離真空計はホットカソードゲージとも呼ばれます。

熱陰極型真空計の測定子内部はフィラメント、グリッド、イオンコレクターで構成され、フィラメントを加熱すると、フィラメントから熱電子という電子がグリッドに向けて放出されます。放出された熱電子が空気に衝突すると、空気がイオン化してプラスの性質をもったイオンになります。

イオンコレクターでプラスの性質をもったイオンの数(電流値)を数えて圧力としています。

なぜ測定子の整備が必要なの?

測定子内部のフィラメントは熱電子を放出するために1,000~1,500℃に加熱されていて使用とともに消耗します。フィラメントの消耗によって、フィラメントに電気を流せなくなります。

また、グリッドやイオンコレクターが使用とともに汚れが蓄積すると、正しい圧力を表示できなくなりますし、高い圧力でフィラメントを誤って点灯すると、空気中の酸素と反応してフィラメントが切れます。

定期的に測定子を交換するとともに、予備の測定子を準備する事をお勧めしています。

真空計の日常メンテナンスは何をすれば良いでしょうか?

回答機種にもよりますが、ピラニ真空計では大気圧調整・ゼロ点調整、隔膜真空計ではゼロ点調整を定期的に行うことが挙げられます。それ以外では測定子内部の目視による汚れの確認、測定子やケーブルの接続部の接触不良有無の確認が挙げられます。

ゼロ点調整はどのように行うのでしょうか?

ゼロ点調整の機能が付いている真空計では、その真空計の圧力測定範囲の下限値から半桁~一桁低い圧力であれば十分に低い圧力とみなし、その圧力まで下がったのを他の真空計で確認して、ゼロ点調整を行います。

真空計のメンテナンスや消耗部品の交換を頻繁に行う必要のある環境や使用方法はありますか。

一般的な話として、不活性ガスの排気で低い圧力を維持しているような場合、測定子の寿命は比較的長いです。一方、酸素、水、ハイドロカーボンが多い、また、大気真空を繰り返す、高い圧力を維持するといった場合、測定子の交換頻度が増える傾向があります。

真空計の校正はどのように行っていますか?

弊社の真空計の校正は、JISで規定された方法(JIS Z 8750)に則って行っています。

真空計を選定する際には測定したい圧力に対して測定範囲がギリギリのものを選定しても良いですか?

測定したい圧力に対し、測定圧力範囲に余裕がある真空計をお勧めします。圧力が測定範囲から外れた場合、指示値に信頼性が持てません。一桁余裕があれば実用上問題はないと思われます。

メンテナンス時に大気開放する際に真空計は何を選定すれば良いでしょうか?

チャンバーオープンのための大気圧を確認するものとして、一般的には大気圧センサや大気圧スイッチといったものが使用されます。周囲の大気圧を基準としたゲージ圧の圧力計またはスイッチです。絶対圧を基準とする通常の真空計とは異なります。
弊社では大気圧センサユニットSAUをラインアップしております。

隔膜真空計以外の真空計がガス種によって圧力の指示値が変わってしまうのは何故ですか?

ピラニ真空計では気体の熱伝導率の違い、電離真空計ではイオン化断面積(単純には気体分子の大きさ)の違いがそれぞれ圧力の違いとなって現れます。

マルチイオンゲージで、電源ONすると直ぐにエラーになってしまいます。

①MODE設定はあっていますか?
②POWER LED、SPU LED、SAU LEDの状態を確認して、エラー原因を調査下さい。

マルチイオンゲージの SPUまたはSAUモードで、0.1Pa以下なのに、0.1Pa付近から圧力が変動しません。

①SH2のフィラメント強制OFF信号を入れて、SPUの指示を確認下さい。SPUが汚れて圧力が下がらない可能性があります。
②SH2単体モード(MODEを0)にし、電離真空計のみの圧力を確認下さい。測定子が汚れている可能性が考えられます。

電離真空計で、エミッション電流の異常が発生しています。

①圧力が測定範囲を超えていないか確認下さい。圧力が高い場合は、ポンプなどの排気系を確認下さい。
②フィラメントの断線を確認下さい。フィラメントを切り替えるか、測定子を交換して下さい。
③フィラメントの消耗が考えられます。フィラメントを切り替えるか、測定子を交換して下さい。
④ケーブルの断線や接触抵抗が大きいなどが考えられます。ケーブルを交換して下さい。
⑤コントローラの故障が考えられます。コントローラを交換してください。

電離真空計で、圧力が予想より大きく異なります。

①電離真空計は測定しているガスの種類によって、圧力指示が変わります。測定しているガスの比感度係数がありますので、コントローラに設定、または計算で補正下さい。
②測定子が汚れていませんか?
③測定子の電極間で絶縁が低下していませんか?
④ケーブルが断線、接触不良を起していませんか?

電離真空計で、圧力指示値がふらつきます。

①測定子が汚れている可能性が高いです。測定子を交換して下さい。
②測定範囲を超えていませんか?、他の真空計で圧力を確認下さい。
③測定子やケーブルが振動していませんか?
④周囲にRFなどのノイズ源はありませんか?
⑤電源電圧が変動していませんか?

電離真空計で、フィラメントをONしても圧力測定ができません。

①フィラメントが断線している可能性が高いです。フィラメントを切り替えるか、測定子を交換して下さい。
②エミッション電流の異常が発生していませんか?フィラメントを切り替えるか、測定子を交換して下さい。
③測定子が汚れていませんか?測定子を交換して下さい。
④測定子の絶縁が低下している可能性があります。測定子の電極間の絶縁を確認下さい。
⑤測定子ケーブルが断線、接触異常を起こしている可能性があります。ケーブルを交換して下さい。
⑥グラウンド電極が不安定ではありませんか?グラウンド電圧を安定させて下さい。
⑦圧力が高くないですか?他の真空計で圧力を確認して下さい。

真空計 セレクションガイド

真空計 セレクションガイド

圧力測定(真空計測)は研究開発、生産技術、品質管理、製造プロセスに必須の基本技術です。

広い分野に応じられる信頼性の高い真空計、真空計測器はULVACの自信作です。

基本的なピラニ真空計から超高真空計測等の多種多様な使用目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。

省スペース・低コストのトランスデューサ型真空計もご好評です。 真空計JCSS校正サービス アルバック製の真空計はもちろん、お客様が現在お持ちの真空計のJCSS校正を行います。

圧力単位(Pa)

pa_bg-thumb-600xauto-661.jpg

ピラニ真空計:汎用型(GPシリーズ)

気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。

分類・特長測定範囲ディスプレイ測定値出力通信/
デジタル出力
電源電圧型式
GP-1G-200x200.jpg・安価
・セットポイント無
0.4~
2,700(Pa)
アナログDC0-10mV
非線形出力
-AC100
240V
GP-1G
gp-1g-case.jpg持ち運び可GP-1Gケース付
GP-1GRY-200x200.jpg・ロングセラー
・セットポイント2
GP-1GRY
gp-1000g-gp-2001g-gp-2002g.jpg・LCD表示
・セットポイント3
デジタルDC0-10V
リニア出力
RS232C/
BCD
GP-1000G
GP-2001G-GP-2002G-200x200.jpg・7セグメントLED4.5桁表示
・セットポイント3
0.4~
3,000(Pa)
-GP-2001G
DC24VGP-2002G

ピラニ真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長測定範囲測定値出力通信/ デジタル出力電源電圧型式

sp1.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント2
0.4~
3,000 (Pa)
DC0-5V 非線形出力-DC24VSP1

sw1.png

・大気圧仕様
・セットポイント2

0.05~
100,000 (Pa)
DC0-10V リニア出力SW1-1
RS232C/ RS485SW1-2

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

電離真空計:汎用型(GIシリーズ)

分類・特長測定範囲測定値出力通信/
デジタル出力
電源電圧型式

gi-m2-gi-d7.jpg

・三極管ガラス球
・デジタル表示
・セットポイント2

1.3×10-5
6.7×10-1(Pa)
DC0-10V 仮数部リニア出力、
疑似LOG出力、
レンジホールドリニア出力
RS232CAC100VGI-D8/WIT
gi-m2-gi-d7.jpgのサムネイル画像・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2
1.3×10-6 〜2.3×10-2(Pa)GI-D7/WIB
gi-m2-gi-d7.jpgのサムネイル画像・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2
5×10-8~ 9.9(Pa)GI-M2
axtran-150x150.jpg・10-11Pa測定可5×10-11~ 1×10-2(Pa)DC0-10V
リニア出力
RS232C/ BCDAC100~ 240VAxTRAN

電離真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長測定範囲測定値出力通信/
デジタル出力
電源電圧型式

unitsc1.jpg

・冷陰極型
・セットポイント2

5×10-5
1×100(Pa)
DC0-10V
非線形出力
-DC24VSC1

SH2-1.jpg

・B-A型メタル球
・セットポイント3

5×10-8
9.9(Pa)
DC0-10V
LOG出力
SH2-1

SH2-2.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント3

5×10-8
1×104(Pa)

SH2-1 + SPU

SH2-3.jpg

・フルレンジ測定
・セットポイント無

5×10-8
1×105 (Pa)

SH2-1 + SPU + SAU

SH2-1.jpg

・B-A型メタル球
・セットポイント無

5×10-8
9.9(Pa)
RS232C/ RS485SH2-2

SH2-2.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント無

5×10-8
1×104(Pa)

SH2-2 + SPU

・フルレンジ測定
・セットポイント無

5×10-8
1×105(Pa)

SH2-2 + SPU + SAU

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

キャパシタンスマノメータ(隔膜真空計):トランスデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類測定範囲測定値出力通信/
デジタル出力
電源電圧型式

ccmt-d-series.jpg

・絶対圧真空計
・高精度
・セットポイント無

13~1.3×105 DC0-10V
リニア出力
-DC24VCCMT-1000D
1.3~1.3×104CCMT-100D
1.3×10-1~1.3×103CCMT-10D
1.3×10-2~ 1.3×102CCMT-1D

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

新旧型式相対表 真空計

アルバック製真空計の新旧型式相対表となります。ご使用の真空計の販売現行機種の型式がすぐに判別可能です。
製品詳細仕様は、製品ページをご覧ください。

ピラニ真空計

旧製品型式現行機種
GP-1SGP-1G
GP-1SRYGP-1GRY
GP-2ASW1×2個+ISG1×2個※1
GP-1DAGP-1000G
GP-2DASW1×2個+ISG1×2個※1
GP-2ARYSW1×2個+ISG1×2個※1
GP-1000GP-1000G
GP-2000GP-2000G

※1 デイスプレイが必要ない場合はSW1もしくはSP1を2個となります。
※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

電離真空計

旧製品型式現行機種
GI-TL2GI-D7
GI-TL3GI-D7
GI-1000GI-D7
GI-D6GI-D7
GI-N8GI-D7
GI-N5GI-D7
ISM1SH200
ISM2SH200
SH2SH200
ST2ST200
GI-M2SH200

※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

キャパシタンスマノメーターおよび広帯域真空計など

旧製品型式現行機種
CCMH-ACCMT-D
CCMH-ACCMT-D
CCM-CCMT-D
SO1SH200-A / SH200-R + SWU10-R

※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

表示器

旧製品型式現行機種
GM-1000ISG1
ISOISG1
ISO2ISG1(100V仕様)
ISP1ISG1
ISP2ISG1(100V仕様)

※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

真空計の調整と校正の違い

真空計の調整とは

調整とは、基準となる圧力計の値と同じ値に合わせ込みをする事です。

真空計に使用している電気部品(抵抗、コンデンサ、ダイオード)の劣化によって表示される圧力が変わってきます。また、測定子も使用とともに劣化します。

定期的に正しい圧力を表示する為の作業が調整です。

真空計の校正とは

校正とは、基準となる圧力からどれだけ表示がズレているかを確認する作業です。

校正を定期的に行なうことで過去に測定した圧力が、基準となる圧力からどれくらいズレていたのかを確認するとともに、今後使用する際にどのくらいズレるのかの把握ができます。

真空計とは

真空計とは

真空計とは私たちが生活している環境(圧力)より低い圧力を測定する測定器のことです。真空容器内に含まれる原子や分子を対象とする「全圧計測」と含まれる気体と種類の組成を対象とする「分圧計測」があります。

真空計の種類

  • 全圧真空計
測定方式による分類真空計名称代表的な真空計(例)
機械的現象(絶対真空計*)液注差真空計U字管真空計
弾性真空計隔膜真空計(ダイヤフラム真空計)
ブルドン管真空計
圧縮真空計マクラウド真空計
圧力天秤重錘型圧力計
気体の輸送現象粘性真空計スピニングロータ真空計
クリスタル真空計
熱伝導真空計ピラニ真空計
熱電対真空計
サーミスタ真空計
クーヌセン真空計
気体中の電離現象電離真空計放射線真空計
冷陰極電離真空計
熱陰極電離真空計

*絶対真空計とは、他の真空計を参照することなく、また気体の種類に無関係に、物理量の測定だけから圧力が求められる真空計のことです。

  • 分圧真空計
測定方式による分類真空計名称代表的な真空計(例)
電界及び磁界を利用質量分析計偏向形(磁場形)質量分析計
電界を利用
飛行時間を利用
非偏向形(磁場形)質量分析計

大気圧とは

私たちの生活している環境(圧力)を一般的に大気圧と言います。

天気図などで「1013hPa(ヘクトパスカル)」と記載があります。これは私たちが生活している環境の圧力を数値化したものです。[hPa](ヘクトパスカル)とはSI単位系における接頭辞のh(ヘクト)と圧力の単位である[Pa](パスカル)の組み合わせです。h(ヘクト)は100倍の意味を持つSI接頭辞なので、私たちの生活してる環境は1013×100=101,300Paということになります。

ちなみに富士山の山頂は630hPa程度、エベレストの山頂は300hPa程度です。国際宇宙ステーション(ISS)は飛行している高度の圧力は0.00001Pa(10-5Pa)です。上空に行くと圧力が下がるのは気体の密度が下がる為です(一般的に空気が薄くなるといいます)。

接頭辞記号意味
テラT1,000,000,000,000
ギガG1,000,000,000
メガM1,000,000
キロk1,000
ヘクトh100
デカda10

大気圧成分

私たちの周辺にある"空気"にはいろいろな気体で構成されています。代表的な気体と含有率、大きさは次の通りとなります。

分子名分子記号含有率 (約)大きさ (直径)
窒素N278.1%0.36 nm
酸素O220.9%0.34 nm
アルゴンAr0.9%0.36 nm
二酸化炭素CO20.03%0.33 nm
その他(ネオン、ヘリウム等)Ne, He0.07%-

圧力の表現方法

真空の場合、圧力を示す単位はSI単位のPa(パスカル)を用い「○.○×10○○Pa」と表現することが多いです。

例えば「1.0×10-3M」と表現された数値を通常の表記にすると「0.001」となり、0の数が多くなり、見づらくなるために、指数表記という「○.○×10●●Pa」という表現を用います。指数表記と通常表記は次の様になります。通常の表記では0がどんどん増えて、見づらくなりますが、指数表記だと見やすい事が分かるかと思います。

※0の数が指数表記の上付きの数になります。

通常表記指数表記
1001.0×102
101.0×101
1.0×100
0.11.0×10-1
0.011.0×10-2
0.0011.0×10-3
0.00011.0×10-4
0.000011.0×10-5
0.0000011.0×10-6

該非判定結果報告書
ダウンロード

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

熱陰極電離真空計STシリーズ オプション・消耗品
測定子 SWT-16(NW16) 測定子 SWT-25(NW25)

取扱説明書・仕様書
ダウンロード

アプリケーション
ダウンロード

図面ダウンロード

技術資料ダウンロード

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました