ピラニ真空計

トランスデューサ型

SP1

SP1

アルバック

センサユニット(SP1)は、G-TRANシリーズのピラニゲージ型の計測ユニットです。
センサユニットは、「測定子と回路部が一体型(測定子の交換可能)」の構造となっており、コストダウンや省スペース化に適した真空計となっております。

特長

  • トランスデューサ仕様:圧力表示器が不要な場合、
    ・真空計にかかるコストの低減化
    ・制御盤まわりの省スペース化
    ・省配線化
    などを実現
  • 測定子の交換が容易
  • フィラメント材には耐食性に富んだ白金を使用
  • 今までお使いいただいている測定子(SP1:WP-01,02,03,16)がそのまま使用可能
  • セットポイント2点の出力が可能
  • SP1: 圧力は0~5V出力(非線形出力)
  • 電源電圧:DC24V入力で作動可能

用途

  • 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
  • 炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に
  • インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
タイプ センサユニット
型式 SP1
適応測定子 WP-01, WP-02, WP-03, WP-16

測定精度

±15 %(51 Pa ~760 Pa)
±30 %(10 Pa ~1000 Pa)
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa)
使用温度範囲 10~40℃
サンプリング時間 50ms 5回の移動平均処理

測定値出力

非線形出力:DC0-5V(Max.10V)
(更新時間) 50 ms
(分解能) 10 mV
セットポイント1/2調整用出力 非線形出力:DC 0-5V(Max.10V)
制御出力信号 オープンコレクタ、負論理
Error信号
セットポイント1/2
LED表示 パワー、エラー、セットポイント1/2
電源電圧 DC24V±2V, 90mA(Max.)
入出力コネクタ D-sub-15P(M2.6 screw)
本体質量 190g(測定子含まず)

付属品

入出力コネクタ 1式
クイックマニュアル 1部

IOとアナログGND、電源GNDはアイソレートされておりません。

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