より良い成膜プロセスを実現するために後付け可能なバイポーラユニット
パルス及び直流電源システム
パイポーラユニット_Model:MFU
Model: MFU
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Model: MFUの導入・購入・検討について
DC電源の外付けユニットとしてラインナップしているMFUはデュアルカソードのスパッタに用いるためのバイポーラユニットです。
金属膜だけではなく反応性の成膜でも威力を発揮します。アノードが消失することなく安定したスパッタリングを実現します。
金属膜だけではなく反応性の成膜でも威力を発揮します。アノードが消失することなく安定したスパッタリングを実現します。
特長
- 10kHz～100kHzの範囲で可能 *1
- 最大6台まで並列運転が可能
- 弊社製DC電源との組み合わせで簡単にデュアルカソード対応の放電方式が実現
- ※1:60kHzを超える発振周波数では、出力電力・電圧・電流が制限されます。
仕様
| Model | MFU-20K | |
| 制御電源入力 | 入力電圧 | 単相 AC100-240V |
| 入力容量 | 400VA以下 | |
| 入力仕様 | 発振可能電圧範囲* | 0～-1000V |
| 最大入力電流* | 50A | |
| 最大入力電力* | 20kW | |
| 出力仕様 | 発振周波数* | 10k～100kHz（61kHz以上は出力制限必要） |
| 定格出力電圧 | 1000V（RMS） | |
| 定格出力電流 | 50A（RMS） | |
| 出力方式 | Dual Target用 | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | |
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 480×630×177（mm） | |
| 質量 | 29kg | |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧州） | |
*動作モード及び発振周波数によって制限あり。
