安定した反応性スパッタリングを可能にするDCパルス電源
パルス及び直流電源システム
DCパルス電源_DC PULSEシリーズ
Model:DC PULSE
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Model:DC PULSEの導入・購入・検討について
"Model:DC PULSE"は、反応性プロセスで発生する異常放電を抑制するのに有効なパルス電源です。
この電源は、設定した周期で出力電圧を反転し、ターゲット表面の電荷蓄積（チャージアップ）を打ち消すことで、異常放電を抑制し、歩留り・スループットの向上を実現します。
この電源は、設定した周期で出力電圧を反転し、ターゲット表面の電荷蓄積（チャージアップ）を打ち消すことで、異常放電を抑制し、歩留り・スループットの向上を実現します。
特長
- 異常放電を抑制することでハイパワーの投入が可能
- アーク起因の基板ダメージを低減
- 発振周波数を 5kHz〜250kHz まで設定し出力可能
- 最大6台までの並列運転可能（同一機種の組合せのみ）
- 動作モードを変更することにより、低アーク機能を持ったDC 電源としても使用可能
仕様
| Model | DC-5-P | DC-10-P | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC208V | |
| 入力容量 | 8kVA以下 | 13.5kVA以下 | |
| 出力仕様 | 定格電力 | 5kW | 10kW |
| 定格電流 | 12.5A | 25A | |
| 定格電圧 | 5k-150kHz：800V、155k-250kHz：650V | ||
| 発振周波数 | 5k-250kHz | ||
| 逆パルス幅 | 0.4μ-5.0μs | ||
| イグニッション電圧 | 1500V | ||
| 制御 | 制御精度 | 定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%以下のうちどちらか大きいほう | |
| 制御保証範囲 | 定格電力値の10-100% | ||
| 外部制御 | Analog/Digital、シリアル通信（RS232CまたはRS485） | ||
| 並列運転 | 有 | ||
| 冷却方式 | 強制空冷 | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 483×630×133（mm） | ||
| 質量 | 29kg | 36kg | |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧州） | ||
