スパッタリングプロセス CGM2-101 / 102
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CGM2-101 / 102の導入・購入・検討について
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高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。
特長
- スパッタリングプロセスに最適
- Air Leak監視
- 残留水分管理
- 洗浄液の残渣
- ガルデンなどの冷媒漏れ
- 残留ハイドロカーボン監視
- プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能
- 高感度リークテストが可能(CGM2-102)、リークテスト機能の充実
- 全圧測定が可能
- 表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
- 簡単操作 - One Click 機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要
- Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
- CE標準対応
用途
- スパッタリング装置の残留ガス分析、プロセスモニタ、不純物 (H2O) 管理に
- スパッタリング装置のリークテストに
仕様
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
| 型式 | CGM2-051 | CGM2-101 | CGM2-052 | CGM2-102 |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管／ファラデーカップ | ||
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
| 最小検知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
| リニアリティ | 1Pa | |||
| 全圧測定機能 | あり | |||
| DEGAS (デガス) 機能 | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA | |||
| One Clickリークチェック機能 | あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) |
120℃ | |||
| 最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) |
250℃ | |||
| 使用温度範囲 | 10～40℃ | |||
| インターフェース | Ethernet | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）対応 | |||
| 適合規格 | CE | |||
