スパッタリングプロセス CGM2-101 / 102

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CGM2-101 / 102の導入・購入・検討について

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高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。

特長

スパッタリングプロセスに最適
Air Leak監視
残留水分管理
洗浄液の残渣
ガルデンなどの冷媒漏れ
残留ハイドロカーボン監視
プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能
高感度リークテストが可能(CGM2-102)、リークテスト機能の充実
全圧測定が可能
表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
簡単操作 - One Click 機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要
Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
CE標準対応

用途

スパッタリング装置の残留ガス分析、プロセスモニタ、不純物 (H₂O) 管理に
スパッタリング装置のリークテストに

仕様

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型式	CGM2-051	CGM2-101	CGM2-052	CGM2-102
質量分離方式	四重極型質量分析計
質量数範囲	1～50 amu	1～100 amu	1～50 amu	1～100 amu
検出器	ファラデーカップ		二次電子増倍管／ファラデーカップ
感度	0.1uA/Pa		0.1mA/Pa
最小検知分圧	1x10^-7Pa		1x10^-10Pa
最大使用圧力	2Pa		2Pa(FC)1x10^-2Pa(SEM)
リニアリティ	1Pa
全圧測定機能	あり
DEGAS (デガス) 機能	あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA
One Clickリークチェック機能	あり / He / H₂O / N₂/ O₂/ Any gas
電源電圧	DC24V±10％　50W
最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時)	120℃
最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時)	250℃
使用温度範囲	10～40℃
インターフェース	Ethernet
ソフトウェア	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）対応
適合規格	CE

CGM2-101 / 102サポートページ

特長

スパッタリングプロセスに最適

Air Leak監視

残留水分管理

洗浄液の残渣

ガルデンなどの冷媒漏れ

残留ハイドロカーボン監視

プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能

高感度リークテストが可能(CGM2-102)、リークテスト機能の充実

全圧測定が可能

表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能

簡単操作 - One Click 機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要

Qulee QCSソフトウエアが標準搭載

CE標準対応

仕様

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型式	CGM2-051	CGM2-101	CGM2-052	CGM2-102
質量分離方式	四重極型質量分析計
質量数範囲	1～50 amu	1～100 amu	1～50 amu	1～100 amu
検出器	ファラデーカップ		二次電子増倍管／ファラデーカップ
感度	0.1uA/Pa		0.1mA/Pa
最小検知分圧	1x10^-7Pa		1x10^-10Pa
最大使用圧力	2Pa		2Pa(FC)1x10^-2Pa(SEM)
リニアリティ	1Pa
全圧測定機能	あり
DEGAS (デガス) 機能	あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA
One Clickリークチェック機能	あり / He / H₂O / N₂/ O₂/ Any gas
電源電圧	DC24V±10％　50W
最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時)	120℃
最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時)	250℃
使用温度範囲	10～40℃
インターフェース	Ethernet
ソフトウェア	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）対応
適合規格	CE