アルバックグループの
触針式プロファイラ (日本国内のみ販売)
触針式プロファイラ (日本国内のみ販売)の導入・購入・検討について
触針式プロファイラは基板上に形成された様々な薄膜の膜厚（段差）及び表面粗さ、表面形状を手軽に評価できる接触式の表面形状測定器です。
ポンプ種類
触針式プロファイラ
触針式プロファイラ
Alpha-Step D-500
Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差（膜厚）、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。
※日本国内販売のみ
触針式プロファイラ
Alpha-Step D-600
Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差（膜厚）、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。
※日本国内販売のみ
触針式プロファイラ
P-7
P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。※日本国内販売のみ
触針式プロファイラ
P-17
P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。※日本国内販売のみ
触針式プロファイラ
P-17 OF
P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。※日本国内販売のみ
触針式プロファイラ
P-170
P-170は実績豊富なP-17をベースに自動搬送機構を追加したモデルです。
搬送ロボット、プレアライナ、自動XY-θステージ、パターン認識機能などを標準装備していますので、カセットを置くだけの自動測定が可能です。※日本国内販売のみ