真空計|製品情報|ULVAC SHOWCASE

アルバックグループの
真空計

真空計の導入・購入・検討について

真空計とは、私たちが生活している空間の圧力、つまり大気圧よりも低い圧力を測る計測器です。

真空計は真空ポンプと並び、真空技術の基本です。 測定範囲や用途により、測定原理が異なる複数のものが存在します。真空計を使用する際は、その中から適切なものを選定する必要があります。

ポンプ種類

ピラニ真空計

ピラニ真空計は、気体の輸送現象(熱伝導)を利用した真空計です。

ピラニ真空計

SW100-A / R

New Product


従来の耐衝撃性に富んだ測定子、フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用等のコンセプトを引き継ぎながら、デザインを一新し、ユーザーフレンドリーな便利機能を搭載しました。

SWU

ピラニ真空計

SWU10-U

2020年度日本真空工業会「イノベーション賞」受賞


USBケーブルによりスマートフォンとダイレクトに接続が可能なピラニ真空計です。
お客様がお持ちのスマートフォンで手軽に真空計測が可能です。専用の電源やディスプレイは必要ありません。

ピラニ真空計

SP1

センサユニットSP1は、測定子と回路部が一体となったトランスデューサ型のピラニ真空計で、省コスト、省スペースを実現します。

ピラニ真空計

GPー1000G

本真空計は、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
真空装置の制御用として、デジタル出力やセットポイント出力を標準で備え、さらに装置のパネル面を有効に使用するするため、小型化を実現しました。

ピラニ真空計

GPー2001G

本真空計は、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
真空装置の制御用として、デジタル出力やセットポイント出力を標準で備え、さらに装置のパネル面を有効に使用するするため、小型化を実現しました。

ピラニ真空計

GP-1G

GP-G シリーズは、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
フィラメント材に白金(Pt)を使用しており大気圧でも壊れません。
手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。
また、セットポイント付では、各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。

ピラニ真空計

GP-1Gケース付

GP-G シリーズは、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
フィラメント材に白金(Pt)を使用しており大気圧でも壊れません。
手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。
また、セットポイント付では、各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。

熱陰極電離真空計

熱陰極電離真空計は、気体の電離現象を利用した真空計の一種です。

熱陰極電離真空計

ST200-A / R / E

2021年度日本真空工業会「真空コンポーネント大賞」受賞


異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。三極管型電離真空計である本製品は、感度低下がしにくく、真空計にとって厳しい環境でもより長く精度の良い真空計測が可能です。従来の、高寿命、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。

熱陰極電離真空計

SH200-A / R / E

異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型真空計『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。B-A型電離真空計である本製品は、超高真空の測定が可能です。従来の、広範囲の圧力測定、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。

熱陰極電離真空計

GI-D7(WIT)

中真空~高真空領域の測定が可能な熱陰極型電離真空計です。10-1~10-6Pa(ガラス管球タイプ)

熱陰極電離真空計

GI-D7(WIB)

中真空~高真空領域の測定が可能な熱陰極型電離真空計です。10-1~10-6Pa(ガラス管球タイプ)

冷陰極電離真空計

冷陰極電離真空計は、気体の電離現象を利用した真空計の一種です。

冷陰極電離真空計

SC1

G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが可能です。

キャパシタンスマノメータ

キャパシタンスマノメータは機械的現象に基づく真空計です。

キャパシタンスマノメータ

CCMT-1000D

CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。
センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく(絶対圧真空計)、精度良く測定出来ます。

キャパシタンスマノメータ

CCMT-100D

CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。
センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく(絶対圧真空計)、精度良く測定出来ます。

キャパシタンスマノメータ

CCMT-10D

CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。
センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく(絶対圧真空計)、精度良く測定出来ます。

キャパシタンスマノメータ

CCMT-1D

CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。
センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく(絶対圧真空計)、精度良く測定出来ます。

オプション・消耗品

真空計のオプションとして、トランスデューサ型真空計用のディスプレイユニットがあります。
消耗品としては、各機種専用の測定子があります。

オプション・消耗品

ISG1

本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズの真空計、およびCCMシリーズ対応の1チャンネルディスプレイです。
測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。
ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。

オプション・消耗品

SWP-16(NW16)

大気圧ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

SWP-25(NW25)

大気圧ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

SWP-P18(Φ18)

大気圧ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

SWP-P15(Φ15)

大気圧ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

SWP-CF16(ICF034)

大気圧ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

SWP-R1/8(R1/8)

大気圧ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

WP-01(Φ18)

ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

WP-02(Φ15)

ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

WP-03(R3/8)

ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

WP-16(NW16)

ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

WPB-10-034(ICF034)

ピラニゲージの測定子です。

オプション・消耗品

SWT-16(NW16)

マルチイオンゲージの測定子です。

オプション・消耗品

SWT-25(NW25)

マルチイオンゲージの測定子です。

オプション・消耗品

M-44(NW16)

マルチイオンゲージの測定子です。

オプション・消耗品

M-45(NW25)

マルチイオンゲージの測定子です。

オプション・消耗品

M-46(ICF070)

マルチイオンゲージの測定子です。

SHOWCASE

オプション・消耗品

WIT-G1(Φ18/15)

電離真空計の測定子です。

SHOWCASE

オプション・消耗品

WIT-G8(Φ18/15)

電離真空計の測定子です。

SHOWCASE

オプション・消耗品

WIB-G5(Φ18/15)

電離真空計の測定子です。

SHOWCASE

オプション・消耗品

WIB-N3(ICF070)

電離真空計の測定子です。

オプション・消耗品

C-21(Φ18/15)

コールドカソードゲージ の測定子です。

オプション・消耗品

C-23(ICF034)

コールドカソードゲージ の測定子です。

オプション・消耗品

C-24(NW16)

コールドカソードゲージ の測定子です。

オプション・消耗品

C-25(NW25)

コールドカソードゲージ の測定子です。

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