残余气体分析仪（工艺气体监测）的基础知识
爱发科的残余气体分析仪（工艺气体监测）是从适用于尖端研究和开发应用（例如宇宙空间和核电）的高性能，高分辨率的高端型号，到适用于一般应用的基本类型。拥有广泛的产品阵容，实现了简单性和易用性，并满足了真空设备工艺管理中的所有需求。
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a.离子源
灯丝发出的热电子e-
热电子物质分布在电极周围
与热电子碰撞的气体分子被电离
产生的离子入射在Q-pole上并按质量数分开 |
b.质量分离部
由四个平行的棒状电极组成， |
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c.检出部
当离子撞击初段电极时，会发射出多个二次电子，这是一种重复撞击的Amplifier。 |
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