残余气体分析仪(工艺气体监测)的基础知识

爱发科的残余气体分析仪(工艺气体监测)是从适用于尖端研究和开发应用(例如宇宙空间和核电)的高性能,高分辨率的高端型号,到适用于一般应用的基本类型。拥有广泛的产品阵容,实现了简单性和易用性,并满足了真空设备工艺管理中的所有需求。

真空测量和仪器

qulee01.gif

工艺气体监测仪的结构

gas06.jpg

a.离子源

img-qulee-03.png

灯丝发出的热电子e-

img-yajirushi-down-01.png

热电子物质分布在电极周围

img-yajirushi-down-01.png

与热电子碰撞的气体分子被电离

img-yajirushi-down-01.png

产生的离子入射在Q-pole上并按质量数分开

b.质量分离部

img-qulee-04.png

由四个平行的棒状电极组成,
在两个相对的电极上施加直流电压和高频电压,
并在与之成90度的2个电极上施加相反电极的电压。

c.检出部

img-qulee-05.png

当离子撞击初段电极时,会发射出多个二次电子,这是一种重复撞击的Amplifier。

HOW TO

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept