残余气体分析仪(工艺气体监测)的基础知识

产品的介绍

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追求「谁都能简单操作」「启动时间缩短」「检漏更简便」,注重可用性的爱发科Qulee系列,分析管与继承电源部配有操作面和显示单元,无需启动电脑即可进行测量。
另外,详细的工艺分析和数据管理/处理也可以通过电脑机执行。

各种工艺数据的示例

与爱发科残留气体分析仪/工艺气体监测仪对应的" Qulee QCS"软件只需单击一下,即可选择一种满足您需要的测量方法,扫描模式(测量任何质量范围)或趋势模式(测量任何质量数随时间的变化)。

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气体分析用软件Qulee QCS的特征

  • 只需一键就能启动分析
    无需复杂的操作,大大提高了可操作性
    如果已连接电源,则仅需开启ON
  • 只需最少的开关即可轻松操作
  • 无需PC即可检漏和杂质(H2O)分析
  • 无需使用说明书即可操作PC
    环保,非常适合在洁净室中使用

测量模式

扫描模式

对任意的质量扫描范围连续扫描,测量质谱的模式。
质量数设置取决于分析管规格(M/e=1~300等)

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趋势模式

对任意质量数选择测量,测量质量数随时间变化的模式。
最大可测量20CH。质量数设置取决于分析管规格(M/e=1~300等)

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模拟模式

确认模拟波形的模式
扫描模式・趋势模式使用的传感器的模拟波形的峰值设定,调整的模式。
此操作称为质量数校准。

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浓度显示功能

除了A和Pa,还可以显示ppm。
将主气体设为100%计算,可以以ppm显示分析气体中的成分。

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成分名称可以在趋势模式下显示。
除了显示质量数(M/e)外,还可以显示He,Ar和N2等气体的名称。

积分功能

添加了用于计算趋势数据上任意范围的积分(面积)的功能。
这使得可以方便地计算释放的气体总量,并且可以使用于升温脱离气体分析和破坏性分析等的应用。
积分结果可以以文本格式保存。

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干扰处理功能

追加了显示趋势数据任意点低于干扰值部分的功能。
可以使用于升温脱离气体分析和破坏性分析等的应用。

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HOW TO

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