用途・案例
想检查真空度。
想了解每种气体成分的信息。
| 工艺 | 问题的重点 | Applications |
|---|---|---|
| 半导体制造设备 工艺检测 |
降低结晶度 | 残留水分（H20）和检测确认 |
| 液晶・有机EL面板制造装置 工艺检测 |
液晶面的良品率问题 | 残留水分（H20）确认 |
| 光学用蒸发设备 工艺检测 |
光学薄膜面的良品率问题 | 残留水分（H20）确认 |
| 真空热处理设备 环境检测 |
减少闪光 外观颜色不均 |
残留氧气（O2）和碳氢（CXHY）、检漏确认 |
| 冻结干燥装置 工艺检测 |
更长的干燥时间性能，功效，味道，外观变化 | 干燥确认、 杂质流入确认 |
使用例
成膜设备工艺气体监测仪
