残余气体分析仪(工艺气体监测)的基础知识

用途・案例

想检查真空度。
想了解每种气体成分的信息。

工艺 问题的重点 Applications
半导体制造设备
工艺检测
降低结晶度 残留水分(H20)和检测确认
液晶・有机EL面板制造装置
工艺检测
液晶面的良品率问题 残留水分(H20)确认
光学用蒸发设备
工艺检测
光学薄膜面的良品率问题 残留水分(H20)确认
真空热处理设备
环境检测
减少闪光
外观颜色不均
残留氧气(O2)和碳氢(CXHY)、检漏确认
冻结干燥装置
工艺检测
更长的干燥时间性能,功效,味道,外观变化 干燥确认、
杂质流入确认

使用例

成膜设备工艺气体监测仪


pvd.gif

HOW TO

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept