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金属膜用EB枪
EGK 系列
EGKｰ3
アルバック
EGK-3型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率5kW的坩埚。
坩埚容量是3cc、适合实验及小規模生産用。
拥有最大输入功率5kW的坩埚。
坩埚容量是3cc、适合实验及小規模生産用。
特点
- 采用容量3cc的坩埚，适合小规模生产。
- 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
- 即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本专利831485号.843447号）
- 电子束225°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
- 发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格
| 加速电压 | -4kV～-10kV DC | |
| 束电流 | 0.5A max (at -10kV) | |
| 最大输入功率 | 5kW（-10kV、0.5A） | |
| X轴偏转线圈 | 0.4～3.5A -18VDCmax 22Ω（20℃） |
|
| 灯丝 | 0～6V AC 40Amax | |
| 坩埚 | 容量 | 2.6cc |
| 尺寸 | 21Φ×15.6Φ×10H | |
| 电子束偏向角度 | 225° | |
| 有效蒸发角度 | 90°以上 | |
| 蒸发速度 | 铝5kW时 0.5μm/min以上 （炉膛上方250H） |
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| 冷却水量 | 坩埚 | 8L/min以上 0.7MPa（最大圧力） |
| 线圈 | 1L/min以上 0.7MPa（最大圧力） | |
| 水温 | 15～25℃ | |
| 外形尺寸 | 110W×126H×207D | |
| 重量 | 约4kg | |
| 适用电源 | HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F | |
| 备注 | 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。 | |
| Y轴偏转线圈 | 0～±1.2A ±12VDVmax | |
| （可选） | 1.8Ω（20℃） | |
