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金属膜用EB枪

EGK 系列

EGKｰ3

ULVAC

EGK-3型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率5kW的坩埚。
坩埚容量是3cc、适合实验及小規模生産用。

特点

采用容量3cc的坩埚，适合小规模生产。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本专利831485号.843447号）
电子束225°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。

规格

加速电压		-4kV～-10kV DC
束电流		0.5A max (at -10kV)
最大输入功率		5kW（-10kV、0.5A）
X轴偏转线圈		0.4～3.5A -18VDCmax 22Ω（20℃）
灯丝		0～6V AC 40Amax
坩埚	容量	2.6cc
	尺寸	21Φ×15.6Φ×10H
电子束偏向角度		225°
有效蒸发角度		90°以上
蒸发速度		铝5kW时　0.5μm/min以上（炉膛上方250H）
冷却水量	坩埚	8L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
	线圈	1L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
水温		15～25℃
外形尺寸		110W×126H×207D
重量		约4kg
适用电源		HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F
备注		建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。
Y轴偏转线圈		0～±1.2A ±12VDVmax
（可选）		1.8Ω（20℃）

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可选部件・消耗品

EB枪・EB电源

高电压导入端子 BERH311A 电流导入端子 PTS-004 接地端子 ERZ-003 大气压确认器 DTA-002 水冷导入端子 DK5203-045

金属膜用EB枪

EGK 系列

EGKｰ3

EGK-3型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率5kW的坩埚。
坩埚容量是3cc、适合实验及小規模生産用。

特点

采用容量3cc的坩埚，适合小规模生产。
由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本专利831485号.843447号）
电子束225°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。

规格

加速电压		-4kV～-10kV DC
束电流		0.5A max (at -10kV)
最大输入功率		5kW（-10kV、0.5A）
X轴偏转线圈		0.4～3.5A -18VDCmax 22Ω（20℃）
灯丝		0～6V AC 40Amax
坩埚	容量	2.6cc
	尺寸	21Φ×15.6Φ×10H
电子束偏向角度		225°
有效蒸发角度		90°以上
蒸发速度		铝5kW时　0.5μm/min以上（炉膛上方250H）
冷却水量	坩埚	8L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
	线圈	1L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
水温		15～25℃
外形尺寸		110W×126H×207D
重量		约4kg
适用电源		HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F
备注		建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。
Y轴偏转线圈		0～±1.2A ±12VDVmax
（可选）		1.8Ω（20℃）