EGL-103S

ULVAC

EGL-103S型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率6kW的直动型3点切换式蒸发舟。
坩埚容量为10cc3个，适用于超高真空的实验、小规模生产。

特点

加速电压		-4kV～-10kV
电子束电流		0.6Amax (at-10kV)
最大输入功率		6kW (-10kV, 0.6A)
X轴偏转线圈		0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃）
Y轴偏转线圈		0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）
灯丝		0～6VAC 50Amax
坩埚	容量	10cc
坩埚	尺寸	35Φ×31Φ×11H
电子束偏向角度		270°
有效蒸发角度		90°以上
冷却水量	坩埚	10L/min 7kg/cm²G（最大圧力）
冷却水量	坩埚盖板	2L/min 7kg/cm²G（最大圧力）
水温		15℃～25℃
外形尺寸		313W (MAX)×108H×250D
重量		约16kg
适用电源		HPS-1000N, HPS-1600F
备注		建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。最大30 x 30 mm 烘烤温度最高为120℃，但要保持冷却水流经炉膛和炉膛甲板

EB枪・EB电源

高电压导入端子 BERH311A 电流导入端子 PTS-004 接地端子 ERZ-003 大气压确认器 DTA-002 水冷导入端子 DK5203-045

特点

采用直接作用型的10cc三点切换坩埚，适用于超高真空的小规模生产。

由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。

即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本专利831485号.843447号）

电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。

发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。

规格

加速电压		-4kV～-10kV
电子束电流		0.6Amax (at-10kV)
最大输入功率		6kW (-10kV, 0.6A)
X轴偏转线圈		0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃）
Y轴偏转线圈		0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）
灯丝		0～6VAC 50Amax
坩埚	容量	10cc
坩埚	尺寸	35Φ×31Φ×11H
电子束偏向角度		270°
有效蒸发角度		90°以上
冷却水量	坩埚	10L/min 7kg/cm²G（最大圧力）
冷却水量	坩埚盖板	2L/min 7kg/cm²G（最大圧力）
水温		15℃～25℃
外形尺寸		313W (MAX)×108H×250D
重量		约16kg
适用电源		HPS-1000N, HPS-1600F
备注		建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。最大30 x 30 mm 烘烤温度最高为120℃，但要保持冷却水流经炉膛和炉膛甲板