EGL-110

ULVAC

EGL-110型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率16kW的坩埚，坩埚为110cc的大容量，可对应厚膜的高速蒸发。

特点

加速电压		-4kV～-10kV
束电流		1.6Amax (at-10kV)
最大入力		16kW (-10kV, 1.6A)
X轴偏转线圈		0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃）
Y轴偏转线圈		0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）2個
灯丝		0～6VAC 40Amax
坩埚	容量	110cc
	尺寸	75Φ×59Φ×32H
电子束偏转角度		270°
有效蒸发角度		120°以上
蒸发速度	铝16kW时	4.5μm/min以上（炉膛上250H）
冷却水量		19L/min以上、0.7MPa（最大圧力）
水温		15℃～25℃
外形尺寸		136W×90H×220D
重量		约15kg
适用电源		HPS-1000N, HPS-1600F
備考		1. 可以连接送丝机。 2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水

EB枪・EB电源

高电压导入端子 BERH311A 电流导入端子 PTS-004 接地端子 ERZ-003 大气压确认器 DTA-002 水冷导入端子 DK5203-045

特点

采用大容量110cc坩埚，可实现大量成膜。

由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。

即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。

电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。

发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。

规格

加速电压		-4kV～-10kV
束电流		1.6Amax (at-10kV)
最大入力		16kW (-10kV, 1.6A)
X轴偏转线圈		0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃）
Y轴偏转线圈		0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）2個
灯丝		0～6VAC 40Amax
坩埚	容量	110cc
	尺寸	75Φ×59Φ×32H
电子束偏转角度		270°
有效蒸发角度		120°以上
蒸发速度	铝16kW时	4.5μm/min以上（炉膛上250H）
冷却水量		19L/min以上、0.7MPa（最大圧力）
水温		15℃～25℃
外形尺寸		136W×90H×220D
重量		约15kg
适用电源		HPS-1000N, HPS-1600F
備考		1. 可以连接送丝机。 2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水