爱发科集团生产，销售的真空相关的设备介绍。
关于小型蒸发设备的介绍、购买、商讨
薄膜沉积设备是一种用于在硅片等基板上形成薄膜的装置。爱发科的小型实验用薄膜沉积设备提供高精度的沉积技术，非常适合研究开发和小规模生产。其紧凑的设计使其即使在有限的空间内也能高效使用。
泵的种类
小型蒸发设备
蒸镀是一种将金属或氧化物等物质蒸发并气化，然后沉积在基材表面形成薄膜的技术。在蒸镀过程中，首先在真空腔内通过电阻加热、电子束加热或激光加热等方法加热并蒸发目标材料。蒸气在真空中移动，朝向基板，由于真空环境的作用，扩散被最小化，蒸气到达基板表面后凝结，形成具有均匀和高质量特性的薄膜。
爱发科的小型实验用蒸镀设备提供高精度的薄膜沉积技术，非常适合研究开发和小规模生产。其紧凑的设计使其即使在有限的空间内也能高效使用。
小型蒸发设备
VPC-061
将管架上的主泵・辅助泵・阀门配管・电气系统・圧力测量口等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。
小型蒸发设备
VPC-061A
将管架上的主泵・辅助泵・阀门配管・电气系统・圧力测量口等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。
小型蒸发设备
VPC-260F
将管架上的主泵，辅助泵，阀门配管，电气系统，压力测量口等等必要的部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
适用于小基板尺寸的基础研究开发等实验用途。
小型蒸发设备
VPC-1100
将架台上的油扩散泵，油回转泵，皮拉尼真空计，阀门配管，电气系统，压力测量口等必要的部件紧凑组合为一体的，配有钟罩升降设备的电阻加热型高速真空蒸发设备。
适用于大型基板的基础研究开发等实验用途。
小型蒸发设备
VFR-200M/ERH
将架台上的主泵，辅助泵，皮拉尼真空计，电离真空计，阀门配管，电气系统等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
DEPOX系列有不同排气系统配置的4种类型。
易于操作适用于基础研究开发等实验用途。
小型蒸发设备
VWR-400M/ERH
将架台上的主泵，辅助泵，皮拉尼真空计，电离真空计，阀门配管，电气系统等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
DEPOX系列有不同排气系统配置的4种类型。
易于操作适用于基础研究开发等实验用途。
小型蒸发设备
VTR-350M/ERH
将架台上的主泵，辅助泵，皮拉尼真空计，电离真空计，阀门配管，电气系统等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
DEPOX系列有不同排气系统配置的4种类型。
易于操作适用于基础研究开发等实验用途。
小型蒸发设备
VTS-350M/ERH
将架台上的主泵，辅助泵，皮拉尼真空计，电离真空计，阀门配管，电气系统等必要部件紧凑组合为一体的电阻加热型低成本小型真空蒸发设备。
DEPOX系列有不同排气系统配置的4种类型。
易于操作适用于基础研究开发等实验用途。
溅射设备
溅射是一种物理气相沉积（PVD）技术，通过从靶材释放原子，在基板上形成薄膜。溅射过程首先在真空腔内引入氩气等惰性气体，并施加电压以生成等离子体。接着，等离子体中的氩离子与靶材碰撞，导致靶材表面的原子被击出，这一过程称为“溅射”。最后，被击出的原子到达基板，凝结形成具有均匀和高质量特性的薄膜。
爱发科的小型实验用溅射设备提供高精度的薄膜沉积技术，非常适合研究开发和小规模生产。其紧凑的设计使其即使在有限的空间内也能高效使用。
成膜设备可选部件
这些是爱发科的薄膜沉积设备的选项。
