いまさら聞けない真空の基礎知識

単位換算表

真空関連の単位換算表となります。不明な点がございましたら、弊社担当営業へお問い合わせください。

1. 圧力換算

	Pa （N/m²）	Torr (mmHg)	bar	kg/cm²	psi	atm
Pa（N/m²）	1	7.5×10^-3	1×10^-5	1.02×10^-5	1.45×10^-4	9.87×10^-6
Torr (mmHg)	133	1	1.33×10^-3	1.36×10^-3	1.93×10^-2	1.32×10^-3
bar	1×10⁵	750	1	1.02	14.5	0.987
kg/cm²	9.80×10⁴	735	0.98	1	14.2	0.968
psi	6.89×10³	51.7	6.89×10^-2	7.03×10^-2	1	6.80×10^-2
atm	1.01×10^-5	760	1.01	1.03	14.7	1

（注）1 lb･in^-2 ＝ 144 lb･ft^-2，1 short ton ･ft^-2 ＝ 0.945 08 atm
　　　psi : pound per square inch

2. 排気速度およびコンダクタンスの換算

	m³/s	L/s	L/min	cm³/s
m³/s	1	10³	6×10⁴	10⁶
L/s	10^-3	1	60	10³
L/min	1.667×10^-5	1.667×10^-2	1	16.67
cm³/s	10^-6	10-³	0.06	1

3. 流量の単位換算

	Pa･m³/s	Torr･L/s	atm･cm³/s	molecule/s
Pa･m³/s	1	7.500 62	9.869 23	2.651 65×10²⁰
Torr･L/s	0.133 322	1	1.315 79	3.535 23×10¹⁹
atm･cm³/s	0.101 325	0.76	1	2.686 78×10¹⁹
molecule/s	3.771 24×10^-21	2.828 67×10^-20	3.721 92×10^-20	1

molecule は理想気体（0℃の値）

4. 熱の単位換算係数

量	MKS 単位	工業単位	CGS 単位
熱量	1 （J）	0.238 9×10^-3 （kcal）	0.238 9 （cal）
熱流	1 （W）	0.86 （kcal･h^-1）	0.238 9 （cal･s^-1）
熱伝導率	1 （W･m^{^-1}･K^{^-1}）	0.86 （kcal･m^-1･h^-1･℃ ^-1）	0.238 9×10^-2 （cal･cm^-1･s^-1･K^-1）
熱比抵抗	1 （m･K･W^-1）	1.163 （m･h･℃ ･kcal^-1）	4.186× 10² （cm･s･K･cal^-1）
熱抵抗	1 （K･W^-1）	1.163 （h･℃ ･kcal^-1）	4.186× 10² （s･K･cal^-1）
表面伝熱率	1 （W･m^-2･K^{^-1}）	0.86 （kcal･m^-2･h^-1･℃ ^-1）	0.238 9×10^-8 （cal･cm^-2･s^-1･K^-1）
表面熱比抵抗	1 （m²･K･W^{^-1}）	1.163 （m²･h･℃ ･kcal^-1）	4.186× 10⁸ （cm²･s･K･cal^-1）
表面熱抵抗	1 （K･W^-1）	1.163 （h･℃ ･kcal^-1）	4.186× 10⁴ （s･K･cal^-1）
幾何学的抵抗	1 （m^-1）	1 （m^-1）	10^-2 （cm^-1）
熱容量	1 （J･K^-1）	0.238 9×10^-3 （kcal･℃ ^-1）	0.238 9 （cal･K^-1）
比熱	1 （J･kg^{^-1}･K^{^-1}）	0.238 9×10^-3 （kcal･kg^-1･℃ ^-1）	0.238 9×10^-3 （cal･g^-1･K^-1）
体積比熱	1 （J･m^-3･K^{^-1}）	0.238 9×10^-3 （kcal･m^-3･℃ ^-1）	0.238 9×10^-12 （cal･cm^-3･K^-1）

5. 排気量

	Pa・m³	Pa・L	Torr・L	L(標準)
Pa・m³	1	1×10³	7.52	9.87×10^-3
Pa・L	1×10^-3	1	7.52×10^-3	9.87×10^-6
Torr・L	1.33×10^-1	133	1	1.32×10^-3
L(標準)	1.01×10²	1.01×10⁵	760	1

6. 温度

K	℃+273.15
°F	(9/5)℃+32

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