真空ポンプ(低・中真空)の基礎知識

油回転真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

回転翼型油回転真空ポンプで説明します。

1段式:
ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せが1組のポンプを1段式と呼びます。

2段式:
ロータ、シリンダ、しゅう動翼板の組合せを直列に2組つないで圧縮比を大きくとることにより、低圧力を得るようにしたものを2段式と呼びます。

なお、この組み合わせを3段以上にしても配管抵抗(コンダクタンス)および真空ポンプ油の蒸気圧の関係から、2段式以下の圧力にはならないと言われています。

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