真空ポンプの選定依頼時に必要な情報|真空ポンプの基礎知識|HOW TO|ULVAC SHOWCASE

真空ポンプの基礎知識

真空ポンプを選定するために何から始めればいいのか、必要な条件は何なのか、弊社では選定するために11項目にわたる内容を確認させていただいています。また必要な条件をお知らせいただくことで滞りなく選定いたします。

選定に必要な情報

(1) ご使用目的 : 次のどちらですか?

  A. チャンバーをある圧力まで所定の時間内に排気したい。
  B.チャンバーにある一定のガス量を流して所定の圧力に維持したい。※この場合は、チャンバーに導入するガス量もお伺いしています。

(2) 排気予定のガスの種類と成分

(3) 目標圧力

(4) 必要な排気速度

(5) 排気予定のチャンバサイズ、配管径・長さ、バルブのサイズと数

(6) 電圧及び周波数

(7) 必要に応じて認証規格

(8) 海外輸出の予定がある場合は、ご使用国・仕向地

(9) その他必要条件(設置環境:標高、雰囲気温度、クリーンルーム等)

(10) 数量

(11) ご予算

真空ポンプの買い替えを検討されている方

既に使用中の真空ポンプをお持ちで買い替えを検討されていましたら、弊社製品に関わらず、他社製品の型式名をお知らせいただくことで現行機種の性能の近い製品を推奨することが可能です。もちろん改廃製品もお調べいたします。
差し支えなければ、その商品のカタログ、仕様書、取り扱い説明書等もいただければ選定の時間を短縮できる可能性があります。

HOW TO

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