ガス分析計(プロセスガスモニタ)の基礎知識

用途事例

真空の質を確認したい、
気体の成分毎の情報を知りたい

プロセス 問題点 チェックポイント
半導体製造装置
プロセスモニタ
結晶性の低下 残留水分(H20)やリークの確認
液晶・有機ELパネル製造装置
プロセスモニタ
液晶面の歩留まり問題 残留水分(H20)の確認
光学用蒸着装置
プロセスモニタ
光学薄膜面の歩留まり問題 残留水分(H20)の確認
真空熱処理装置
雰囲気モニタ
光輝性の低下、色ムラの出現 残留酸素(O2)やハイドロカーボン(CXHY)、リークの確認
凍結乾燥装置
プロセスモニタ
乾燥時間の長大化、性能・効能・味・見た目の変化 乾燥確認、不純物流入確認

使用例

成膜装置おけるプロセスガスモニタ


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HOW TO

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