ガス分析計(プロセスガスモニタ)の基礎知識


製品の紹介

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「誰にでも簡単に取扱いが可能」「立上げ時間の短縮」「リークテストの簡便さ」を求め、使い勝手を焦点に合わせたアルバックのQuleeシリーズは、分析管と一体になっている電源部に操作面や表示部を設け、パソコンを立ち上げることなく測定可能です。また、パソコンを介して詳細なプロセス解析やデータ管理・処理をおこなうこともできます。

各種プロセスデータ例

アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエア「Qulee QCS」により、簡単なクリック操作でスキャンモード(任意の質量数範囲を測定)やトレンドモード(任意の質量数についての経時変化を測定)など、使用される方のニーズにマッチした測定方法を選択することができます。

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ガス分析計用ソフトウェアQulee QCSの特徴

  • One Clickのみで分析スタート
    複雑な操作は一切なし、操作性大幅に向上
    電源を接続すればスタートスイッチONのみ
  • スィッチも必要最少限に抑え取扱も簡便
  • PCレスでリークテスト、不純物(H2O)分析が可能
  • PCを使用することで取扱説明書レスも可能
    環境にも優しい、クリーンルームでのご使用にも最適

測定モード

スキャンモード

任意の質量走査範囲を連続にスキャンして、質量スペクトルを測定するモードです。
質量数の設定は分析管の仕様に依存します(M/e=1~300等)

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トレンドモード

任意の質量数を選択的に測定して、各測定質量数の経時変化を測定するモードです。
最大20CHまで測定可能。質量数の設定は分析管の仕様に依存します(M/e=1~300等)

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アナログモード

アナログ波形を確認するモードです。
スキャンモード・トレンドモードにて使用するセンサーのアナログ波形のピークトップ設定値を規定、調整するモードです。この作業を質量数校正と呼びます。

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濃度表示機能

表示単位にA、Pa以外にppmを表示できます。
メインのガスを100%として計算することにより分析した気体中の成分がppmで表示可能です。

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トレンドモードにおいて、組成名の表示が可能です。
質量数(M/e)表示に加え、He、Ar、N2などの気体の名称の表示可能です。

積分機能

トレンドデータ上の任意の範囲を積分(面積)計算する機能を追加しました。
これにより総放出ガス量の計算などが容易に可能となり、昇温脱離ガス分析、破壊分析などのアプリケーションで有効となります。
積分結果はテキスト形式での保存ができます。

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バックグランド処理機能

トレンドデータの任意の点をバックグランドとして、差し引き計算を行い表示する機能を追加しました。昇温脱離ガス分析、破壊分析などのアプリケーションで有効となります。

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