製品の紹介
各種プロセスデータ例
アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエア「Qulee QCS」により、簡単なクリック操作でスキャンモード（任意の質量数範囲を測定）やトレンドモード（任意の質量数についての経時変化を測定）など、使用される方のニーズにマッチした測定方法を選択することができます。
ガス分析計用ソフトウェアQulee QCSの特徴
- One Clickのみで分析スタート
複雑な操作は一切なく、操作性大幅に向上しました。
電源を接続すればスタートスイッチONのみで分析が始まります。 - スィッチも必要最少限に抑え取扱も簡便
- PCレスでリークテスト、不純物（H2O）分析が可能
- PCを使用することで取扱説明書レスも可能
クリーンルームでの使用にも最適です。
測定モード
スキャンモード
任意の質量走査範囲を連続にスキャンして、質量スペクトルを測定するモードです。
質量数の設定は分析管の仕様に依存します(M/e=1～300等)
トレンドモード
任意の質量数を選択的に測定して、各測定質量数の経時変化を測定するモードです。
最大20CHまで測定可能。質量数の設定は分析管の仕様に依存します(M/e=1～300等)
アナログモード
アナログ波形を確認するモードです。
スキャンモード・トレンドモードにて使用するセンサーのアナログ波形のピークトップ設定値を規定、調整するモードです。この作業を質量数校正と呼びます。
濃度表示機能
表示単位にA、Pa以外にppmを表示できます。
メインのガスを100%として計算することにより分析した気体中の成分がppmで表示可能です。
トレンドモードにおいて、組成名の表示が可能です。
質量数(M/e)表示に加え、He、Ar、N2などの気体の名称の表示可能です。
積分機能
トレンドデータ上の任意の範囲を積分(面積)計算する機能を追加しました。
これにより総放出ガス量の計算などが容易に可能となり、昇温脱離ガス分析、破壊分析などのアプリケーションで有効となります。
積分結果はテキスト形式での保存ができます。
バックグランド処理機能
トレンドデータの任意の点をバックグランドとして、差し引き計算を行い表示する機能を追加しました。昇温脱離ガス分析、破壊分析などのアプリケーションで有効となります。
