ガス分析計(プロセスガスモニタ)の基礎知識

アルバックの残留ガス分析計(プロセスガスモニタ)は、宇宙、原子力などの最先端研究・開発用途に適した高性能・高分解能ハイエンドモデルから、 一般用途に適したベーシックタイプまで幅広いラインナップがあります。 シンプルさと使いやすさを実現し、真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。

真空計測と計測器

qulee01.gif

プロセスガスモニタの構成

gas06.jpg

a.イオン源

img-qulee-03.png

フィラメントから熱電子e-を放出

img-yajirushi-down-01.png

熱電子はグリッド電極の周囲に分布

img-yajirushi-down-01.png

熱電子と衝突した気体分子がイオン化

img-yajirushi-down-01.png

生成したイオンはQ-poleに入射して質量数ごとに分離される

b.質量分離部

img-qulee-04.png

4本の平行な棒状電極から構成され、対向する2本の電極に直流電圧と高周波電圧を印加し、それらと90度対向する2本の電極に逆の極性の電圧を印加します。

c.検出部

img-qulee-05.png

イオンが初段の電極に当たると複数の2次電子が飛出し、これがさらに衝突を繰り返していく一種のアンプです。

HOW TO

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました