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金属膜用EBガン

EGLシリーズ

EGL-35

アルバック

電子ビーム式蒸発源EGL-35は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力10kWのハースをもっています。
るつぼ容量は1ケ当たり40ccの大容量となっているため、厚膜の高速蒸着が可能です。

特長

  • 大容量40ccのハースの採用により、大量蒸着が可能です。
  • 電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
  • 昇華性の物質でもビームススポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることに穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。(日本国特許831485、843447号所有)
  • 電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
  • フィラメントホルダーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

仕様

加速電圧 -4kV~-10kV DC
ビーム電流 MAX 1.0A(加速電圧-10kV時)
最大投入電力 10kW(-10kV, 1.0A)
X軸偏向コイル 0.4~3.5A MAX-18V DC
2.8Ω(室温20℃内にて)
Y軸偏向コイル 0~±2A MAX±12VDCmax
6Ω×2(室温20℃内にて)
フィラメント 0~6V AC MAX40A
るつぼ 容量 40cc
寸法 50Φ×41Φ×25H
ビーム偏向角 270°
有効蒸発角 120°以上
蒸着速度 1.8μm/min以上(A110kW、ハース直上250H)
冷却水量 10L/min以上(最大出力0.7MPa)
水温 15~25℃
外形寸法 110H×79W×206D
重量 10kg
適用電源 HP-1000N, HPS-1600F
備考 1. ワイヤーフィーダー取付可能
2. 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。
EBガンのフィラメントが交換後にすぐ断線してしまう。

フィラメントとビームフォーマーが接触していませんか?

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