EGL-35

アルバック

電子ビーム式蒸発源EGL-35は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力10kWのハースをもっています。
るつぼ容量は１ケ当たり40ccの大容量となっているため、厚膜の高速蒸着が可能です。

特長

大容量40ccのハースの採用により、大量蒸着が可能です。
電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
昇華性の物質でもビームススポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることに穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485、843447号所有）
電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
フィラメントホルダーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

加速電圧		-4kV～-10kV DC
ビーム電流		MAX 1.0A（加速電圧-10kV時）
最大投入電力		10kW（-10kV, 1.0A）
X軸偏向コイル		0.4～3.5A MAX-18V DC 2.8Ω（室温20℃内にて）
Y軸偏向コイル		0～±2A MAX±12VDCmax 6Ω×2（室温20℃内にて）
フィラメント		0～6V AC MAX40A
るつぼ	容量	40cc
	寸法	50Φ×41Φ×25H
ビーム偏向角		270°
有効蒸発角		120°以上
蒸着速度		1.8μm/min以上（A110kW、ハース直上250H）
冷却水量		10L/min以上（最大出力0.7MPa）
水温		15～25℃
外形寸法		110H×79W×206D
重量		10kg
適用電源		HP-1000N, HPS-1600F
備考		1. ワイヤーフィーダー取付可能 2. 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。

EBガン・EB電源　オプション

高電圧導入端子　BERH311A 電流導入端子　PTS-004 アース端子　ERZ-003 大気圧確認器　DTA-002 水冷導入端子　DK5203-045

特長

大容量40ccのハースの採用により、大量蒸着が可能です。

電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。

昇華性の物質でもビームススポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることに穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485、843447号所有）

電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。

フィラメントホルダーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

仕様

加速電圧		-4kV～-10kV DC
ビーム電流		MAX 1.0A（加速電圧-10kV時）
最大投入電力		10kW（-10kV, 1.0A）
X軸偏向コイル		0.4～3.5A MAX-18V DC 2.8Ω（室温20℃内にて）
Y軸偏向コイル		0～±2A MAX±12VDCmax 6Ω×2（室温20℃内にて）
フィラメント		0～6V AC MAX40A
るつぼ	容量	40cc
	寸法	50Φ×41Φ×25H
ビーム偏向角		270°
有効蒸発角		120°以上
蒸着速度		1.8μm/min以上（A110kW、ハース直上250H）
冷却水量		10L/min以上（最大出力0.7MPa）
水温		15～25℃
外形寸法		110H×79W×206D
重量		10kg
適用電源		HP-1000N, HPS-1600F
備考		1. ワイヤーフィーダー取付可能 2. 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。