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真空搬送ロボット
ELEC/COVOTシリーズ
COVOT-6
アルバック
COVOT-6は独立した4本のアームを備え、高スループットを実現した真空搬送ロボットです。
特長
- 独立した4本のアームを装備し、基板2枚の同時入れ替え動作が可能。
- 7軸のアクチュエータを持ち、4本のアームそれぞれでティーチングができます。
- AWS機能（基板位置の自動補正機能）を標準装備しています。
- 10-1Paの中真空に対応します。
用途
- 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
- 各種真空実験装置での基板搬送
仕様
| 使用圧力領域 | 大気圧～10-1Pa | |
| ウェーハサイズ | 300mm | |
| ウェーハ保持枚数 | 4枚 | |
| 最大到達距離 * | 880mm | |
| 回転角度 | 360° エンドレス | |
| 昇降ストローク | 90mm | |
| 最小旋回直径 * | 980mm | |
| 可搬重量（ハンド含む） | 1kg | |
| 動作速度 | 伸縮 | Max 1.5sec / フルストローク |
| 旋回 | Max 2.0sec / 180° | |
| 昇降 | Max 1.5sec / 20mm | |
| 繰り返し位置精度 | 伸縮 | ±0.2mm |
| 旋回 | ±0.2mm | |
| 昇降 | ±0.2mm | |
| ティーチングペンダント | 付属 | |
| コントローラ | 別置き | |
*取り付けアームおよびハンドにより異なります。
