ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

DAU・MDシリーズ

特長

  • 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
  • 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。
  • ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。
  • サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
  • 大気圧から作動が可能。
  • シンプル構造で、メンテナンスが容易。

ラインナップ

型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa
DAU-20
20/23
200
DAU-100
100/110
266
MD4UNT
60/70
100

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