ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
DAU・MDシリーズ
特長
- 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
- 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。
- ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。
- サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
- 大気圧から作動が可能。
- シンプル構造で、メンテナンスが容易。
ラインナップ
型式
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排気速度
L/min (50/60Hz) |
到達圧力
Pa |
DAU-20
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20/23
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200
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DAU-100
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100/110
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266
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MD4UNT
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60/70
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100
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