多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

GR シリーズ

実績と信頼のLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計した真空ポンプ

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。

特長

  • 大気~真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能
  • 高スループットを求めるロードロック室(仕込取出室)の排気に最適
  • 汎用インダクションモータに対応
  • 防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能(オプション)
  • マルチ電圧対応モータを採用
    *ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください(GR180Aは共通モータ)

用途

  • エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
  • 各種成膜装置の仕込取出室の排気
  • 真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途
  • 真空断熱やガス充填などの真空ガス置換

仕様

型式
GR60A GR90A GR180A
Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz
最大排気速度 m3/h 62 80 112 126 183 237
L/min 1030 1333 1860 2100 3100 3950
cfm 36.4 47.1 65.7 74.2 109.5 139.5

到達圧力

5.0Pa *1
3.7 x 10-2Torr *1
5.0 x 10-2mbar *1
最大排気圧力(吸入圧力) 大気圧
最大排気口圧力(排出圧力) 1Pa~大気圧
7.5 x 10-3Pa~大気圧
1.0 x 10-2mbar~大気圧
吸気口(CE仕様) VG50 or ISO63F Equivalent to VG80 or ISO80F
排気口 NW40
DRP表面処理
質量 128kg 188kg 268kg
冷却水 冷却水一次供給圧力 0.1~0.3MPa
14.5~43.5psi
冷却水出入口差圧 >0.1MPa
>14.5psi
冷却水温度 10~30oC *2
50~86℃
冷却水流量 >5.0L/m
窒素ガス
一次側供給圧力pressure
0.1~0.5MPa
14.5~72.5psi

二次側調整圧力*3

0.05~0.1MPa (運転時)
7.3 to 14.5psi
5SLM *4

*1 到達圧力は、窒素ガス(軸シールガス)が、5.0SLMの時の値です。

*2 結露しないこと。

*3 レギュレータで調整する圧力計の値です。

*4 窒素ガス(軸シールガス)の流量は、5.0SLM 固定です。

■ モータ仕様

ご注文時に下記の表よりモータを選定ください。(GR180Aは共通です)

型式
GR60A
選定可能モータ 200V級モータ マルチ電圧モータ
周波数
Hz
50
60
50 60
50
60
電圧
V
200
200
220
220
240
208
220
240
380
400
415
380
440
460
定格電流 A 9.2 8.8 8.1 8.1 8.1 8.5 8.1 7.4 4.8 4.8 4.7 4.6 4.3 4.1
Wiring Delta wiring Delta wiring Star wiring

型式 GR90A
選定可能モータ 200V級モータ マルチ電圧モータ
周波数
Hz
50
60
50 60
50
60
電圧
V
200
200
220
220
240
208
220
240
380
400
415
380
440
460
定格電流 A 14.2 14.1 12.8 12.8 12.7 13.4 12.8 11.8 7.5 7.4 7.3 7.3 7 6.3
Wiring Delta wiring Delta wiring Star wiring

型式
GR180A
選定可能モータ 共通モータ
周波数
Hz
50
60
50
60
電圧
V
200
200
240
200
208
220
240
380
400
415
380
440
460
定格電流 A 26.1 25.1 25.7 26.3 24.9 23.9 22.5 14.5 14.7 14.9 13.9 13.3 12.5
Wiring Delta wiring Star wiring

GR.jpg

■サイレンサ(オプション)

モデル 材質 表面処理 質量(kg) 接続フランジ
RS-01 SUS304 GBB処理 4.1 NW40
RS-02 SUS304 GBB処理 8.3 NW40

■モデル適合表

キット名 適合モデル クランプ アウターリング 接続配管 ステー
RS-01+キットA GR60,GR90 1 1 - -
RS-01+キットC GR180A 2 2 1 1

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