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多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

RDAシリーズ

特長

  • ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。
  • 大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。
  • 水蒸気に強い。
  • 冷却水が不要。
  • 単相/三相電源を1機種で対応可能。
  • 摺動部が無く長寿命。
型式
排気速度
L/min
（50/60Hz）
到達圧力
Pa
 排
気
方
式		 接
ガ
ス
部
耐
食
性
RDA-281H
280
≦8.0×10-2
 6段排気方式 －
RDA-501H
500
≦8.0×10-2
 6段排気方式 －

型式

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