多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

RDAシリーズ

特長

  • ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。
  • 大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。
  • 水蒸気に強い。
  • 冷却水が不要。
  • 単相/三相電源を1機種で対応可能。
  • 摺動部が無く長寿命。
型式
排気速度
L/min
(50/60Hz)
到達圧力
Pa









RDA-281H
280
≦8.0×10-2
6段排気方式
RDA-501H
500
≦8.0×10-2
6段排気方式

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