スクロール型ドライ真空ポンプ
DIS・DISLシリーズ
特長
ＤＩＳシリーズ
- 大排気量でコンパクトサイズ。
- ドライ型真空ポンプとしては最高レベルの到達圧力。
- エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止。
ＤＩＳＬシリーズ
- 大排気量でコンパクトサイズ。
- 高湿ガスに強い、真空ポンプ。
- エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止。
ラインナップ
ＤＩＳシリーズ
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型式
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排気速度
L/min （50/60Hz） |
到達圧力
Pa |
１ 段 排 気 方 式 |
２ 段 排 気 方 式 |
３ 段 排 気 方 式 |
接 ガ ス 部 耐 食 性 |
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DIS-90
|
90/108 | 5 | ● | － | － | － |
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DIS-251
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250/300 | 1.6 | ● | － | － | － |
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DIS-501
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500/600 | 1 | ● | － | － | － |
DISシリーズの排気速度は、設計排気速度を記載しております。
設計排気速度は大気圧の気体を吸引した場合の実行排気速度の1.2倍程度の数値となります。
ＤＩＳＬシリーズ
|
型式
|
排気速度
L/min （50/60Hz） |
到達圧力
Pa |
１ 段 排 気 方 式 |
２ 段 排 気 方 式 |
３ 段 排 気 方 式 |
接 ガ ス 部 耐 食 性 |
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DISL-102
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100/120 | 20 | ● | － | － | － |
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DISL-503
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430/520 | 30 | ● | － | － | － |
